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维修调整要领书 9-5 1） 请确认真空泵未在运转。（刚运转 后，请注意高温。） 2） 拆下内有真空泵的护罩。（4 处螺 钉） 3） 请用六角扳手拆下真空泵的正面树 脂护盖。（2 处螺钉） 4） 请用六角扳手拆下过滤器护罩。（ 2 处螺钉） 5） 请从过滤器护罩的凹部取出 PUMPFILTER，进行更换 。【图 2】 6） 请用六角扳手拆下帽盖。（3 处螺 钉） 7） 请从旋转部的槽中拔出 PUMPB…
维修调整要领书
9-4
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1）请确认真空泵未在运行。
2）请取下护罩 FB。
3）请从真空计上取下φ６空气管。
4）旋转真空计背面的树脂部件，卸下真空计。
5）装配时请按照相反的顺序进行。
树脂固定部件
真空计
面板
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9-5
1）请确认真空泵未在运转。（刚运转后，请注意高温。）
2）拆下内有真空泵的护罩。（4 处螺钉）
3）请用六角扳手拆下真空泵的正面树脂护盖。（2 处螺钉）
4）请用六角扳手拆下过滤器护罩。（2 处螺钉）
5）请从过滤器护罩的凹部取出 PUMPFILTER，进行更换。【图 2】
6）请用六角扳手拆下帽盖。（3 处螺钉）
7）请从旋转部的槽中拔出 PUMPBLADE，进行更换。
※更换要 7 片一起进行，每片都要注意装配的方向。【图 3、4】
8）安装时请按相反顺序进行。
过滤器
树脂护盖
过滤器护罩
帽盖
叶片（×7）
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10-1
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SW1 联机 标准 -
SW2 初始 标准 -
SW3 开始 标准 标准
SW4 停止 标准 标准
SW5 伺服自由 标准 标准
SW6 循环 标准 标准
SW7 设置 EN方法 -
SW8 紧急 标准 标准
SW9 储料可能 选项 选项
SW10 F/R选择 选项 选项