FX-2_2C维修手册-.pdf - 第96页
维修调整要领书 9-4 Rev1.0 1） 请确认真空泵未在运行。 2） 请取下护罩 FB。 3） 请从真空计上取下φ６空气管。 4） 旋转真空计背面的树脂部件，卸下 真空计。 5） 装配时请按照相反的顺序进行。 树脂固定部件 真空计 面板
维修调整要领书
9-3
Rev1.0
1）在让滑动部分下降的同时，或左或右回转主体 45 度并拔下。
2）左回转并卸下固定空气过滤侧的过滤器件 B 的树脂部件，同时能卸下过滤器件 B 并进行更换。
3）左回转烟分离器侧的过滤器件 A，取下来进行更换。
4）按照相反的顺序进行安装。
在进行操作之前，先关闭蝶阀。
到过滤器件的寿命 2 年或者压力下降到 0.1MPa（1kgf/cm
2
）时进行更换。
烟分离器
空气过滤器
维修调整要领书
9-4
Rev1.0
1）请确认真空泵未在运行。
2）请取下护罩 FB。
3）请从真空计上取下φ６空气管。
4）旋转真空计背面的树脂部件，卸下真空计。
5）装配时请按照相反的顺序进行。
树脂固定部件
真空计
面板
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9-5
1）请确认真空泵未在运转。（刚运转后，请注意高温。）
2）拆下内有真空泵的护罩。（4 处螺钉）
3）请用六角扳手拆下真空泵的正面树脂护盖。（2 处螺钉）
4）请用六角扳手拆下过滤器护罩。（2 处螺钉）
5）请从过滤器护罩的凹部取出 PUMPFILTER，进行更换。【图 2】
6）请用六角扳手拆下帽盖。（3 处螺钉）
7）请从旋转部的槽中拔出 PUMPBLADE，进行更换。
※更换要 7 片一起进行，每片都要注意装配的方向。【图 3、4】
8）安装时请按相反顺序进行。
过滤器
树脂护盖
过滤器护罩
帽盖
叶片（×7）
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