FX-2操作手册.pdf - 第276页
操作手册Ⅱ 3-10-1-2 自动调整基板宽度 可调整基板传送宽度。 选择菜单后,显示如下的画面。 1) 调整基板宽度 向基板外形尺寸 + 余宽的位置移动, 运行时传送宽度值适用下列设定 值。 2) 基板外形尺寸 设置基板外形尺寸。初始值设置为基 板数据中的基板外形尺寸 (Y) 。 3) 余宽 设置基板与传送轨道的余宽。 使用机器前面的摇把进行调整后, 按下 “取得” 按钮, 将把当前的传送宽度与基板外形尺寸的差值, 作为余宽登录下来。…

操作手册Ⅱ
3-10-1 传送
3-10-1-1 基板搬入/基板搬出
执行基板的搬入、搬出。
安全盖打开时,选择菜单后,为了将轴移动到安全位置,显示如下信息。
请确认安全后,按下“继续”。
将轴移动到安全位置后,显示下列基板传送画面。
·按<开始>开关或“执行”进行传送。
·结束操作时,请按“关闭”。
·在传送过程中因某种原因想取消操作时,可以按<停止>开关停止。
① 传送动作
从一览表中选择搬入或搬出基板。
② 校准BOC
选择是否在搬入基板后马上进行BOC校准。选择“按选项执行”后,则适用操作选项设
置的示教项目设置。
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操作手册Ⅱ
3-10-1-2 自动调整基板宽度
可调整基板传送宽度。
选择菜单后,显示如下的画面。
1) 调整基板宽度
向基板外形尺寸+余宽的位置移动,运行时传送宽度值适用下列设定值。
2) 基板外形尺寸
设置基板外形尺寸。初始值设置为基板数据中的基板外形尺寸(Y)。
3) 余宽
设置基板与传送轨道的余宽。
使用机器前面的摇把进行调整后,按下“取得”按钮,将把当前的传送宽度与基板外形尺寸的差值,
作为余宽登录下来。
4) 基板传送按钮
调出基板搬入/搬出。
5) 宽度返回原点
进行基板宽度自动调整的返回原点。
6) 应用按钮
将余宽值应用于生产条件。
<步骤>
①变更板外形尺寸(Y)。
(仅当要对基板数据中设置的
外形尺寸临时变更时)
②需要变更余宽时,请设置余
宽。
③ 单击“移动”。
(未进行宽度返回原点时,
应先进行宽度返回原点)。
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操作手册Ⅱ
● IN/OUT 缓冲中有无自动调整基板宽度,会在下图的对话框的标题栏上显示。
● 在自动调整基板宽度对话框中,可通过示教进行中心缓冲基板传送宽度调整及中心缓
冲的移动。详情请参见『4-4 示教』。
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