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操作手册Ⅱ 5-2- 10 -2 真空泵零件的更换（机器版本 Rev. A ） １） 请确认真空泵没有运转。（刚停止运转后温度会很高，敬请注意。） ２） 请使用六角扳手拆下真空泵前面树脂罩。（ 2 处螺丝） ３） 请使用六角扳手拆下过滤器罩。（ 2 处螺丝） ４） 请从过滤器罩的凹槽里取出 P UMP FILTER 【 400 78779 】，进行更换。 ５） 请用六角扳手拆下盖子。（螺丝 3 处） 盖子 螺丝 过滤器罩 螺丝 气泵过滤…
操作手册Ⅱ
○气缸各种零件的拆除、更换方法
1） 请拧松固定排气阀压板的 M3×L5 盘头小
螺丝。
2） 请拆除排气阀压板、排气阀支撑、排气阀。
5） 请拆除头盖的垫圈，清洗头盖。
清洗后请吹干，并更换新的垫圈
6） 请将棉纱沾上洗净液，仔细地对气缸所有部分进行脱脂。
7） 更换各消耗零件，请对照标记按拆卸时的逆向步骤重新安装好。
另外，请用 8N・m 把固定头盖的 M6
螺丝拧紧
。
皮碗垫圈
吸气阀防干扰橡胶
吸气阀
吸气阀支撑
排气阀支撑
排气阀
垫圈
3） 请拧下固定吸气阀压板的 M3×L5 盘头
小螺丝。
4） 请拆除吸气阀压板、吸气阀支撑、吸气
阀。
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操作手册Ⅱ
5-2-10-2 真空泵零件的更换（机器版本 Rev. A）
１） 请确认真空泵没有运转。（刚停止运转后温度会很高，敬请注意。）
２） 请使用六角扳手拆下真空泵前面树脂罩。（2 处螺丝）
３） 请使用六角扳手拆下过滤器罩。（2 处螺丝）
４） 请从过滤器罩的凹槽里取出 PUMP FILTER【40078779】，进行更换。
５） 请用六角扳手拆下盖子。（螺丝 3 处）
盖子
螺丝
过滤器罩
螺丝
气泵过滤器
过滤器罩
盖子
树脂罩
盖子
螺丝
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操作手册Ⅱ
６） 请从旋转部分的缝隙拉出 PUMP BLADE【40078778】，进行更换。
※要 7 片统一进行更换，请注意各自的安装方向。
７） 请按照相反的步骤进行安装。
叶片（×７）
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