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操作手册Ⅱ 图 4-5-44 伺服履历显示对话框 表 4-5- 7 点击位置对应表 点击位置 初始项目 右 Y 轴 功放 右 Y 轴 马达 限位传感器 正 / 负 左 X 轴 功放 左 X 轴 马达 限位传感器 负 右 X 轴 功放 右 X 轴 马达 限位传感器 正 Y- Table 功放 Y 台 马达 限位传感器 正 / 负 左 Z1 ～ Z6 轴 , 右 Z1 ～ Z6 轴 所点击位置的 Z 轴 左 T1 ～ T6 轴 , 右 T1…
操作手册Ⅱ
4-5-2-5-6 伺服状态
选择菜单栏中的[控制]→[其它]→[伺服状态]后，显示下图的[伺服状态]对话框。
图 4-5-43 伺服状态对话框
(1) 当前情況
显示伺服的当前状态。
发生错误的单元变为红色。把光标放到按钮上面，或移到各传感器的图标上时，会显示工具提
示。
(2) 最后的错误状况
显示最后发生错误的状态。
发生错误的单元变为红色。
(3) 显示伺服履历
单击对话框后，显示图 4-5-44 伺服履历显示对话框。
显示的信息是各轴过去的十次信息。初始显示的项目根据所点击的位置而变化。
详细情况请参见表 4-5-7 点击位置对应表。
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操作手册Ⅱ
图 4-5-44 伺服履历显示对话框
表 4-5-7 点击位置对应表
点击位置
初始项目
右 Y 轴
功放
右 Y 轴 马达
限位传感器 正/负
左 X 轴
功放
左 X 轴 马达
限位传感器 负
右 X 轴
功放
右 X 轴 马达
限位传感器 正
Y-Table
功放
Y 台 马达
限位传感器 正/负
左 Z1～Z6 轴, 右 Z1～Z6 轴 所点击位置的 Z 轴
左 T1～T6 轴, 右 T1～T6 轴 所点击位置的 T 轴
上述以外 左 Y 轴
4-5-2-6 显示
可以选择状态栏的显示/不显示。
还可以切换显示设定值一览或状态图画面。
具体请参见『4-5-1-1 初始画面』。
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操作手册Ⅱ
4-6 自动校准
4-6-1 概要
自动校准是测量设备的基本设置信息（MS 参数）的部分值，将测量结果作为设置信息
进行设置(用测量结果更新设置信息)的功能。
如错误使用此功能会产生误动作。
使用自动校准时请与本公司商量后再操作。
自动校准中可以处理的项目列表如下。
图 4-6-1 自动校准项目
№
自动校准组
设置内容
1 激光传感器高度 从基板上面观测到的激光传感器高度
2 吸嘴旋转中心 依据激光传感器的吸嘴旋转中心
3 Head 偏移量 对应 OCC 的各贴片头安装位置
激光校正与主机的安装角度
4 真空校准 真空校准值
5 FCS FCS 选项
注意
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