FX-2操作手册.pdf - 第402页
操作手册Ⅱ 激光状态 取得测量 (SWEEP 或者 ONCE) 结果时返回状态一览如下。 表 4-5- 6 激光状态一 览 状态 说明 0 1 执行命令正常。 5 传感器通信连接时发生数据错误。 * 电缆断线、接触不良等原因。 7 未设置 E DGE 数据(激光识别宽度)。 8 传感器未被连接或硬件出现错误。 10 未检测出有效的传感器数据。传感器的电缆不良等。请重新启动。 14 传感器与 θ 轴不同步。请检查传感器、电缆、 θ 轴编码…

操作手册Ⅱ
(6) 状态显示
在控制完成时,显示控制单元的真空的打开/关闭状态、Z 轴坐标、激光的测量结果。
显示项目会根据所进行的控制发生变化。
1) 运行测量(ONCE)时的结果
边界位置 : 从旋转中心到边界的距离
宽 : 阴影的宽度幅(左边界~右边界的距离)
中心 : 阴影的中心位置(LNC60 绝对坐标系)
状态 : ONCE 运行状态代码(参见 表 4-5-6 激光的状态一览)
2) 运行测量(SWEEP) 时的结果
宽 : 识别的元件的宽度
偏差 : 识别的元件偏差(旋转中心和元件中心的偏差)
角度 : 识别的元件角度
状态 : 运行 SWEEP 状态代码(参见 表 4-5-6 激光的状态一览)
3) 运行边界检查后的结果
平均亮度:显示相应 Head 窗口范围内的激光水平平均值。
标准偏差:显示各象素的激光实际水平值与本来的水平值之差的偏差值。该值大,表明激
光可能脏污、或激光单元异常。
最小亮度:显示亮度最低的传感亮度,及其位置。
边界检查:实行边界检查时最高的边界检查值及其位置。
边界检查状态:显示边界检查的实行结果。
1 … 正常。
0 … 边界检查异常
请在边界检查显示画面上确认
激光脏污状况。
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操作手册Ⅱ
激光状态
取得测量(SWEEP 或者 ONCE)结果时返回状态一览如下。
表 4-5-6 激光状态一览
状态
说明
0
1 执行命令正常。
5
传感器通信连接时发生数据错误。
*电缆断线、接触不良等原因。
7 未设置 EDGE 数据(激光识别宽度)。
8 传感器未被连接或硬件出现错误。
10 未检测出有效的传感器数据。传感器的电缆不良等。请重新启动。
14 传感器与
θ
轴不同步。请检查传感器、电缆、
θ
轴编码器。
15 维持传感器正常运转的输入电压过低。
17
输入电流较低,但仍超出了传感器发出的输出电流限制值。
一旦出现此状态,在MCM复位前,要保持传感器电源处于被阻断的状态。
60 通信缓冲里设置的数据比指定的长度短。
61 通信缓冲里设置的数据比指定的长度长。
62 指定的长度比发行的命令长度短。
63 指定的长度比发行的命令长度长。
64 未能检测出元件。(此状态表示激光的光束没有被遮挡住。)
65
处理器未能维持 FrameRate。
处理器评价数据时未能按充分的速度读出输入数据。
67 LA检测出元件的最小宽度前,接收到了停止扫描的命令。
70 LNC60 发现了未发生的状态。
74
MSP 里保存的 COR(吸嘴旋转中心位置)异常。
※SWEEP 的识别结果中,当一个以上的宽度为负时,即设置此错误。此错误显示时,COR
的设置可能出现了大幅的偏差。
75
执行 SWEEP 中,在前面的测量中发生了错误。
执行 SWEEP 中如果第 1、第 2、第 3 测量中发生错误,各自均停止第 2、第 3、第 4 测
量的处理。本错误只在第 2、第 3、第 4 有结果时才通知。
例:虽然第1最小宽度通知正确,但第2最小宽度检测中出现错误。第2最小宽度的结
果通知该错误状态,第3、第4最小宽度的结果通知为 75。
77
传感器上的影子边界没有足够的对比度来正确地确认元件边界。
缺乏元件影子(元件未完全遮住激光光束)时发生。
78
决定窗口的窗口参数低于 2000micron。
79 窗口整体被遮挡。
80 窗口左端被遮挡。
81 窗口的右端被遮挡。
82 窗口两端被遮挡。
86 指定了无效的命令参数。
87 检测出无效的数据。
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操作手册Ⅱ
代码
说 明
90 角度计算发生错误。
91 角度计算发生错误。
92 角度计算发生错误。
93 未能检测出元件的角。
94 角度计算发生错误。
95 角度计算发生错误。
96 角度计算发生错误。
98 最小宽度检测出之前,角度超过指定的界限。
99 开始的处理在下一个最小宽度检测开始之前未完成。
100 未能先于必要信息要求实行必要的初始化。
102 设定的测量所需要的算法无效。
103 图像检查中的激光的亮度过低。因此,不能执行图像检查处理。(未计算值。)
104 图像检查领域的边界未正确设定。
105 图像检查参数的比较失败。
106 发生了在当前设置的错误级别中未定义的错误。
为了使实际的状态代码有效,有必要改变错误级别。
107 在 OFAL 模块未初始化的状态下,执行了传感器功能。
108 发送异步命令失败。
109 SWEEP 识别处理未结束。
110 设置目标为排他访问状态时,执行了其他设置目标。
111 设置目标为排他访问状态时,执行了软件升级。
112 与设置目标为排他状态无关,解除了排他状态。
113 由于其他原因,测量异常结束。
114 在 LNC60 内部发生了编码器错误,或贴片机的
θ
轴角度与 LNC60 内部的角度不同步。
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