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操作手册Ⅱ 图 2-2- 5 正在返回原点对话框 返回原点处理结束后,返回桌面画面。 图 2-2- 6 F X - 2 桌面画面 2-6

操作手册Ⅱ
若是上次系统运行时因生产中系统异常而结束生产时,会有下图询问显示,
可从自动保存的生产程序中恢复异常结束时的生产程序。
每块基板生产完毕后,自动保存生产程序。
自动保存的生产程序在系统正常结束后被删除。
图 2-2-3 恢复生产程序的询问对话框
按[是]:恢复生产程序。
按[否]:不进行恢复。
系统初始化完成后,显示命令按钮和桌面,弹出对话框,询问是否返回原点。
图 2-2-4 询问返回原点对话框
单击
:开始返回原点。
单击
:不返回原点。
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操作手册Ⅱ
图 2-2-5 正在返回原点对话框
返回原点处理结束后,返回桌面画面。
图 2-2-6 FX-2 桌面画面
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操作手册Ⅱ
2-2-2 装置的结束方法
要退出系统时,从菜单中选择[文件(F)]→[退出(X)] 或按下 按钮。
图 2-2-7 退出菜单
选择了退出时,如有未保存的生产程序,则出现下列询问框。
图 2-2-8 生产程序确认信息
单击
:文件不保存,进入下一步。
单击
:中断处理工作,返回桌面。
退出系统前,显示对话框,询问是否进行设备的安全方向设置。
图 2-2-9 安全方向确认对话框
按下 :进行各种安全方向的设置。
按下
:不进行各安全方向的设置,进入下一步。
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