FX-3_InstructionManual_Rev06_C.pdf - 第356页

第 1 部基本篇第 3 章维护 3-31 1)统一更换台车要定期清扫。此外，在安装带式供料器等供料器类前，若发现有芯片元件等异物时，也要用吸尘器等进行清扫。 2) ｢｣请确认台架定位销（两侧）附近没有芯片元件等异物。＜机械式供料器用＞＜电动式供料器用＞清扫部位・ 3-3-10 统一更换台车（选购项）实施频度：每周清扫内容清扫供料器台架的灰尘、异物使用工具：吸尘器台架定位销台架定位销

第 1 部基本篇第 3 章维护

3-30

｢｣

滑动托盘① 上若有芯片或垃圾，会成为吸嘴装卸不畅的原因。

请用抹布沾上酒精进行清扫。

1) 请定期进行供料器台架的清扫。

此外，在安装带式供料器类之前，若发现有芯片元件等异物，也请用吸尘器进行清扫。

清扫部位

・

3-3-8 ATC单元

实施频度：每周

清扫内容清扫 ATC 的灰尘、异物使用工具：抹布推荐溶剂： IPA

清扫部位

・

3-3-9 供料器台架

实施频度：每周

清扫内容清扫供料器台架的灰尘、异物使用工具：吸尘器

①

供料器台架

①

第 1 部基本篇第 3 章维护

3-31

1)统一更换台车要定期清扫。此外，在安装带式供料器等供料器类前，若发现有芯片元件等异物时，

也要用吸尘器等进行清扫。

｢｣

请确认台架定位销（两侧）附近没有芯片元件等异物。

＜机械式供料器用＞

＜电动式供料器用＞

清扫部位

・

3-3-10 统一更换台车（选购项）

实施频度：每周

清扫内容清扫供料器台架的灰尘、异物使用工具：吸尘器

台架定位销

第 1 部基本篇第 3 章维护

3-32

1) 接头的 A 面上若有灰尘、垃圾附着时，请用布沾上酒精擦干净。

A 面上有灰尘时，可能影响元件检查正常进行。

1) 请检查 OCC 的偏光滤光片上有无灰尘或异物。

有灰尘或异物时，请用气枪去除。

清扫部位

・

3-3-11 CVS（元件验证系统）（选购项）

实施频度：每周

清扫内容清扫 CVS 的灰尘、异物使用工具：抹布推荐溶剂：IPA

清扫部位

・

3-3-12 OCC（偏光滤光片）

实施频度：每周

清扫内容清扫 OCC（偏光滤光片）的灰尘、异物使用工具：气枪

偏光フィルタ

接头

A面

偏光滤光片