FX-3_InstructionManual_Rev06_C.pdf - 第954页
第 2 部 功能详细编 第 13 章 程序补充 13-31 13-8 维护日志 从 [ 维护 ] 菜单打开 [ 维护日志 ] 。 13-8-1 [其它] 标签 进行日志的初始化及文件保存。 图 13-8-1-1 维护日志对话框（其他） 选择［初始化日志领域］点击 ，则清除至今为止的日志的内容。 选择［保存日志数据文件］点击 ，则显示确认信息框。 图 13-8-1-2 确认保存对话框 点击 则保存。 点击 则不保存并返回。保存结束则显示信…
第 2 部 功能详细编 第 13 章 程序补充
13-30
13-7 激光状态一览表
◇ 已获得计算(SWEEP)或测量(ONCE)的结果时，显示激光返回的状态一览表。
状态 说明
1
表示正常执行了命令
5
连接出错。
*可能是电缆断线、接触不良等原因所造成。
7
未设置 EDGE 数据（激光识别幅度）。
8
传感器未被连接，或硬件发生错误。
64
无法检测到元件。
67
测量中断。
在测量旋转结束前发生超时而导致测量中断。
70
检测到固件不应发生的状态。
78
决定窗口的窗口参数低于 2000micron。
79
整个窗口被遮挡。
请检查传感器是否有异物。
80
窗口左端被遮挡。
请检查元件的位置。
81
窗口右端被遮挡。
请检查元件的位置。
82
窗口两端被遮挡。
请检查元件的位置。
86
参数不正确。
对命令指定了无效的参数。
请确认已正确输入参数。
87
数据不正确。
检测到无效的数据。
93
取得形状失败。
从传感器测量结果未能检测出元件的形状。元件形状参数的设置相对于实际的元件形状有可能不正确。
98
最小宽度检测失败。
传感器未能从测量结果中检测出元件的最小宽度。
99
在下一次检查最小宽度处理之前，没有结束最初处理(从 REPORTW_CMD 开始)。
100
初始化所需信息未按要求预先执行所需的初始化。
REPORTW_CMD 需设定单位（μm）
102
为测量而设置的元件形状无效。
103
图像检查中的激光亮度过低。
104
图像检查区域不正确。
未正确设定图像检查区域的边界。
105
图像检查失败。
图像检查参数的比较失败。
106
发生未定义的错误。
需要修改错误级别。
107 OFAL 模块在未初始化状态下试图执行传感器功能。
108
异步命令传送信号失败。
109
SWEEP 识别处理未结束。
110
安装对象在专属访问状态下时，其他的安装对象处于准备执行状态。
111
安装对象在专属访问状态下时，其他的安装对象处于准备执行状态。
112
虽没有处于专属状态，但系统仍执行解除专属状态的处理。
113
因其他原因导致测量异常结束。
114
保存在 MSP 内的 COR(吸嘴旋转中心的位置)异常。
第 2 部 功能详细编 第 13 章 程序补充
13-31
13-8 维护日志
从
[
维护
]
菜单打开
[
维护日志
]
。
13-8-1 [其它] 标签
进行日志的初始化及文件保存。
图 13-8-1-1 维护日志对话框（其他）
选择［初始化日志领域］点击
，则清除至今为止的日志的内容。
选择［保存日志数据文件］点击
，则显示确认信息框。
图 13-8-1-2 确认保存对话框
点击
则保存。
点击
则不保存并返回。保存结束则显示信息框。
第 2 部 功能详细编 第 13 章 程序补充
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图 13-8-1-3 保存结束信息框
点击［日志数据的
USB
保存］，按
，则显示确认信息框。
图 13-8-1-4 保存确认信息框
点击
按钮则执行保存。点击
则不保存并返回。
保存结束则显示信息框。
图 13-8-1-5 保存结束信息框