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Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung Ausgabe 08/2011 DE 2.4 Was Sie bei Instandhalt ungsarbeiten grundsätzlich beachten sollten 13 2.4 W as Sie bei Inst andhaltungsarbeiten grundsä…
2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
2.2 Verbrauchsstoffe Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE
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2.2 Verbrauchsstoffe
Stellen Sie für die Instandhaltungsarbeiten folgende Verbrauchsstoffe bereit:
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2.3 Verschleißteile
Stellen Sie für die Instandhaltungsarbeiten folgende Verschleißteile bereit:
2
Verbrauchsmittel Artikelnummer
Fusselfreie Tücher
Reinigungsstäbchen, fusselfrei 00352931-02
SIPLACE-Reinigungstuch 00315253-02
Linsentuch/optisches Tuch
Äthylalkohol
Druckluft
Ölspender mit Structovis GHD 00367071-01
Multipette plus 4981 Datenblatt 613-3669 03078989-01
Combitips Plus 0,2 ml blau 03070440-01
Lubcon Thermoplex ALN 1001/00 50 ml (blau) 03066589-01
Sprühfett (Aerosol) Fin Grease 03020782-01
Papier DIN A 3
Verschleißteile Artikelnummer
Saugteller am Pipettenhalter [03001970-01]
Dichtungseinheit am Ausstechsystem [00387580-01]
O-Ringe der Waferauflagenleisten [03073457-01]
Dämpfer, Filter, Pneumatische Ventile FESTO [03050536-01]
Vakuumpumpe Membran [03079140-0]
Vakuumpumpe Abluftschalldämpfer [03050536-01]
Sicherung Flip-Chip F1 - 24V/3AT [03078645-01]
Sicherung Wafertisch F1 - 24V/2AT [03078644-01]
Sicherung Wafertisch F2 - 5V/0,5A-FF [03078647-01]
Sicherung Waferlift 24V - 3AT [03078645-01]
Sicherung Versorgung F1 - 24V - 3AT [03078645-01]
Sicherung Versorgung F2 - 5V/1AT [03078643-01]
Sicherung Waferheizung 6,3AT (Glasrohr) [03078846-01]
Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung
Ausgabe 08/2011 DE 2.4 Was Sie bei Instandhaltungsarbeiten grundsätzlich beachten sollten
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2.4 Was Sie bei Instandhaltungsarbeiten grundsätz-
lich beachten sollten
Die festgelegten Instandhaltungsintervalle für die Kontrolle und den Austausch der Filterelemente
gelten nur für die spezifizierte Druckluftqualität (siehe Druckluftspezifikation in der Betriebsanlei-
tung [00195940-xx]). Andernfalls verkürzen sich die Instandhaltungsintervalle entsprechend. 2
VORSICHT
Es ist grundsätzlich untersagt, innerhalb des SWS Baugruppen mit Druckluft zu reinigen. 2
Tragen Sie die durchgeführten Instandhaltungsarbeiten in den Instandhaltungsplan ein. Wir emp-
fehlen Ihnen, die Reihenfolge der Arbeiten im Instandhaltungsplan einzuhalten. 2
2.4.1 Bevor Sie Instandhaltungsarbeiten ausführen
Sofern bei den einzelnen Arbeiten nicht anders angegeben:
Fahren Sie den Bestücker und das SWS ordnungsgemäß herunter und schalten Sie diese
aus.
Sichern Sie Bestücker und SWS gegen unbefugtes Wiedereinschalten.
Machen Sie die erforderlichen Komponenten am SWS zugänglich (siehe "Innenraum des
SWS zugänglich machen und schließen" auf Seite 14).
2.4.2 Nach Abschluss der Instandhaltungsarbeiten
Schließen Sie die Schutzhauben am Bestücker und alle zuvor geöffneten Komponenten am
SWS (siehe "Innenraum des SWS zugänglich machen und schließen" auf Seite 14).
Entfernen Sie die Sicherungen gegen unbefugtes Wiedereinschalten.
Schalten Sie SWS und Bestücker wieder ein.
2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
2.4 Was Sie bei Instandhaltungsarbeiten grundsätzlich beachten sollten Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE
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2.4.3 Innenraum des SWS zugänglich machen und schließen
2.4.3.1 Schutzhauben am Bestücker öffnen und schließen
Öffnen Sie die entsprechende Schutzhaube am Bestücker, um den Innenraum des SWS von
oben her zugänglich zu machen.
Führen Sie die erforderlichen Instandhaltungsarbeiten aus und schließen Sie die Schutz-
haube.
2.4.3.2 Magazin-Lift aufschwenken
Für Instandhaltungsarbeiten an Komponenten, die von oben her nicht zugänglich sind, ist es not-
wendig, den Innenraum des SWS von der Vorderseite her zugänglich zu machen.
VORSICHT 2
Stellen Sie unbedingt sicher, dass der Stützfuß des SWS zur Seite ausgeklappt ist, bevor Sie
den Magazin-Lift aufschwenken. Andernfalls besteht die Gefahr, dass der Magazin-Lift kippt.
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Abb. 2.4 - 1 Ausgeklappter Stützfuß
Klappen Sie den Stützfuß des SWS zur Seite aus.
Öffnen Sie die untere Tür des Magazin-Lifts mit Hilfe des Maschinenschlüssels.