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Inhalt Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System Ausgabe 08/2011 DE 4 2.8 Instandhaltungsarbe iten am Ausstechsystem (Die-Ejector) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29 2.8.1 Wafer-Tisch in Wafer -…

Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System Inhalt

Ausgabe 08/2011 DE

Inhalt

1 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7

1.1 Lage von Schaltern und Tastern am SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7

1.2 Konvention zur Verwendung von Gefahrensymbolen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8

1.3 Generelle Sicherheitshinweise bei Instandhaltungsarbeiten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9

2 Alles für die Instandhaltung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11

2.1 Werkzeuge und Arbeitsmittel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11

2.2 Verbrauchsstoffe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12

2.3 Verschleißteile . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12

2.4 Was Sie bei Instandhaltungsarbeiten grundsätzlich beachten sollten . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13

2.4.1 Bevor Sie Instandhaltungsarbeiten ausführen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13

2.4.2 Nach Abschluss der Instandhaltungsarbeiten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13

2.4.3 Innenraum des SWS zugänglich machen und schließen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14

2.4.3.1 Schutzhauben am Bestücker öffnen und schließen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14

2.4.3.2 Magazin-Lift aufschwenken . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14

2.4.3.3 Magazin-Lift schließen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15

2.4.3.4 Versorgungseinheit herausziehen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15

2.4.3.5 Versorgungseinheit einschieben . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16

2.4.4 Multipette verwenden. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16

2.4.4.1 Multipette zusammenbauen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17

2.4.4.2 Multipette füllen und einstellen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18

2.5 Baugruppenübersicht des SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .20

2.6 Instandhaltungsplan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22

2.6.1 Instandhaltungsplan nach Intervallen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22

2.7 Allgemeine Instandhaltungsarbeiten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .26

2.7.1 Abwurfbehälter leeren und Pipettenwechsler absaugen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26

2.7.2 Manometer für den Abblasdruck von Die-Attach-Unit und Flip-Unit prüfen . . . . . . 27

2.7.3 Sichtprüfung und Reinigung des Maschineninnenraums. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27

2.7.4 Energieketten auf Freigängigkeit und korrekten Sitz der Verschlussclips prüfen . 28

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Ausgabe 08/2011 DE

2.8 Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem (Die-Ejector). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .29

2.8.1 Wafer-Tisch in Wafer-Change-Position fahren. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .29

2.8.2 Vakuumkappe reinigen und Ausstechnadel überprüfen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .30

2.8.3 Magnete und Keramikkugeln am Nadelsystem reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .31

2.8.4 Prismenteil und Magnetauflagen an der Zentriereinheit reinigen. . . . . . . . . . . . . .32

2.8.5 Niederhalter-Pins am Nadelsystem überprüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .32

2.8.6 Lippendichtring an Nadelsystem und Zentriereinheit auf Dichtigkeit prüfen. . . . . .33

2.8.7 Welle für die Z-Bewegung am Nadelsystem schmieren. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .35

2.8.8 Verdreh-Arretierung auf Leichtgängigkeit prüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .36

2.8.9 Vakuumdichtigkeit am Ausstechsystem testen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .37

2.8.10 Linearführung des Ausstechsystems reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .38

2.8.11 Anschlagdämpfer am Ausstechsystem auf Funktion überprüfen. . . . . . . . . . . . . .39

2.8.12 Ausstechsystem zentrieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .40

2.9 Instandhaltungsarbeiten an der Die-Attach-Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .42

2.9.1 Mitnehmer reinigen und auf Leichtgängigkeit prüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .42

2.9.2 Pipettenbefestigung auf Dichtigkeit prüfen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .43

2.9.3 Saugteller an der Pipettenaufnahme auf Dichtigkeit prüfen. . . . . . . . . . . . . . . . . .44

2.9.4 Linearführungen schmieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .45

2.9.5 Rückholeinheit schmieren und auf Leichtgängigkeit prüfen. . . . . . . . . . . . . . . . . .46

2.9.6 Die-Attach-Kopf auf Leichtgängigkeit prüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .47

2.9.7 Vakuumteil auf Dichtigkeit prüfen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .47

2.10 Instandhaltungsarbeiten an den elastische Kupplungen der Spindelantriebe . . . . . . . . . . . .48

2.10.1 Kupplungen am Wafertisch prüfen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .48

2.10.2 Kupplung am Greifer prüfen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .49

2.10.3 Kupplung am Magazin-Lift prüfen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .49

2.11 Instandhaltungsarbeiten an der Flip-Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .50

2.11.1 Kulisse und Mitnehmer reinigen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .50

2.11.2 Drehteil auf Leichtgängigkeit prüfen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .51

2.11.3 Pipettenbefestigung auf Dichtigkeit prüfen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .51

2.11.4 Saugteller an Pipettenaufnahme auf Dichtigkeit prüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .53

2.11.5 Abwurfbehälter prüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .54

2.11.6 Linearführungen schmieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .55

2.11.6.1 Z-Hub am Flip-Kopf schmieren. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .56

2.11.6.2 Z-Hub am Drehteil schmieren. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .56

2.11.7 Z-Hub des Drehteils prüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .57

2.11.7.1 Mechanische Überprüfung bei ausgeschalteter Maschine. . . . . . . . . . . . . . . . . . .57

2.11.7.2 Überprüfung mit Hilfe der SWS GUI bei eingeschalteter Maschine. . . . . . . . . . . .58

2.11.8 Höhenmesseinheit am Pipettenhalter prüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .59

2.11.9 Angeschlossene Kabel und Leitungen prüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .59

2.12 Instandhaltungsarbeiten am Greifer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .60

2.12.1 Greiferbacken reinigen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .60

2.12.2 Führungsschiene reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .61

2.12.3 Lager und Mitnehmernut am Sensorhebel schmieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .61

2.12.4 Z-Führung schmieren bzw. reinigen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .62

2.12.4.1 Z-Führung am linken Stellplatz schmieren. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .62

2.12.4.2 Z-Führung am rechten Stellplatz reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .62

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2.13 Instandhaltungsarbeiten am Magazin-Lift. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63

2.13.1 Magazinauflage absaugen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63

2.13.2 Frame-Abfrage reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63

2.13.3 Z-Führungen und Z-Spindel reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64

2.13.4 Seilzugsystem der Schiebetür überprüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65

2.13.5 Führung der Schiebetür reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65

2.14 Instandhaltungsarbeiten am PC. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66

2.14.1 PC-Filter reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66

2.14.2 PC-Lüfter auf Funktion überprüfen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66

2.14.3 Sichtprüfung der elektrischen Anschlüsse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67

2.15 Instandhaltungsarbeiten am Vakuumsystem . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68

2.15.1 Vakuumleistung und Saugkraft überprüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68

2.15.2 Ventile auf Dichtigkeit überprüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69

2.15.3 Membrane der Vakuumpumpe wechseln. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69

2.16 Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Changer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70

2.16.1 Führungsschiene des Greifers reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70

2.16.2 Läufer auf spiel- und spannungsfreie Einstellung prüfen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71

2.17 Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Tisch. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71

2.17.1 Auflageleisten für Wafer-Rahmen reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71

2.17.2 Einschraubzylinder an der Wafer-Aufnahme prüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72

2.17.3 O-Ringe an der Wafer-Aufnahme auf Dichtigkeit prüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73

2.17.4 Optische Sensoren reinigen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74

2.17.5 X-/Y- Linearführungen und Spindeln reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75