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Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung Ausgabe 08/2011 DE 2.6 Instandhaltungsplan 23 Greifer Z-Führung schmier en Siehe Seite 62 M ultipette, Lubcon Thermoplex ALN 1001/00 (linker St…
2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
2.6 Instandhaltungsplan Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE
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2.6 Instandhaltungsplan
Als Grundlage für unsere Instandhaltungsintervalle nehmen wir folgende Maschinen-Auslastung
an:
acht Stunden pro Schicht, drei Schichten pro Tag, fünf Tage die Woche, vier Wochen pro Monat.2
HINWEIS
Die "tägliche Instandhaltung" bzw. "Instandhaltung nach jeder Schicht" sind Reinigungsarbeiten
und somit Bestandteile der Maschinen-Bedienung. Diese muss bei Bedarf erledigt werden,
z.B. der Abfallbehälter muss je nach Abfallmenge mehrmals am Tag geleert werden. 2
2.6.1 Instandhaltungsplan nach Intervallen
2
Intervall2 Tätigkeit 2 Seite 2 Arbeitsmittel/Ersatzteil 2
1 Tag
Abwurfbehälter leeren und Pipettenwechsler
absaugen
Siehe Seite 26 Staubsauger
1-Woche
Abblasdruck-Manometer für Die-Attach-Unit
und Flip-Unit prüfen
Siehe Seite 27 Spiegel
Die-Attach-Unit
Mitnehmer reinigen und auf Leichtgängigkeit
prüfen
Siehe Seite 42 Äthylalkohol, Reinigungsstäb-
chen, fusselfrei
Flip-Unit
Kulisse / Mitnehmer reinigen
Siehe Seite 50 Äthylalkohol, Reinigungsstäb-
chen, fusselfrei
Greifer
Greiferbacken reinigen
Siehe Seite 60 Äthylalkohol, fusselfreies Tuch
Magazin-Lift
Frame-Abfrage reinigen
Siehe Seite 63 optisches Tuch
Magazin-Lift
Magazinauflage absaugen
Siehe Seite 63 Staubsauger, Pinsel
Wafer-Tisch
Auflagleiste für Wafer-Rahmen reinigen und
auf Schürfstellen achten
Siehe Seite 71 Äthylalkohol, fusselfreies Tuch
1-Monat
Ausstechsystem
Vakuumkappe reinigen
Siehe Seite 30 Druckluft, fusselfreies Tuch,
evt. etwas Äthylalkohol
Greifer
Führungen reinigen
Siehe Seite 61 SIPLACE-Reinigungstuch
Greifer
Lager und Mitnehmernut am Sensorhebel
schmieren
Siehe Seite 61 Sprühfett Aerosol
Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung
Ausgabe 08/2011 DE 2.6 Instandhaltungsplan
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Greifer
Z-Führung schmieren
Siehe Seite 62 Multipette, Lubcon Thermoplex
ALN 1001/00 (linker Stellplatz)
SIPLACE-Reinigungstuch
(rechter Stellplatz)
Magazin-Lift
Z-Führungen und Z-Spindel reinigen
Siehe Seite 64 SIPLACE-Reinigungstuch
Wafer-Changer
Führungschiene reinigen
Siehe Seite 70 SIPLACE-Reinigungstuch
Wafer-Tisch
Optische Sensoren reinigen
Siehe Seite 74 optisches Tuch
Wafer-Tisch
X-/Y-Spindeln und Linearführungen reinigen
Siehe Seite 75 SIPLACE-Reinigungstuch
3-Monat
Ausstechsystem
Magnete und Keramikkugeln am Nadelsys-
tem reinigen
Siehe Seite 31 fusselfreies Tuch, Äthylalkohol,
Reinigungsstäbchen, fusselfrei
Ausstechsystem
Niederhalter-Pins am Nadelsystem überprü-
fen
Siehe Seite 32 keine
Ausstechsystem
Prismenteil und Magnetauflagen an der Zen-
triereinheit reinigen
Siehe Seite 32 fusselfreies Tuch, Äthylalkohol,
Reinigungsstäbchen, fusselfrei
Die-Attach-Unit
Pipettenbefestigung auf Dichtigkeit prüfen
Siehe Seite 43 SWS GUI
Die-Attach-Unit
Saugteller an der Pipettenaufnahme auf Dich-
tigkeit prüfen
Siehe Seite 44 ggf. Saugteller
Flip-Unit
Abwurfbehälter prüfen: leeren, Auflageflä-
chen reinigen
Siehe Seite 54 fusselfreies Tuch
Flip-Unit
Drehteil auf Leichtgängigkeit prüfen (darf
nicht in Kulisse haken)
Siehe Seite 51 keine
Flip-Unit
Pipettenbefestigung auf Dichtigkeit prüfen
Siehe Seite 51 keine
Flip-Unit
Saugteller an der Pipettenaufnahme auf Dich-
tigkeit prüfen
Siehe Seite 53 ggf. Saugteller
Pipettenhalter
Saugteller auf Beschädigung überprüfen, bei
Bedarf austauschen
ggf. Saugteller
4-Monat
Ausstechsystem
Lippendichtring an Nadelsystem und Zen-
triereinheit auf Dichtigkeit prüfen
Siehe Seite 33 keine
Ausstechsystem
Welle für die Z-Bewegung am Nadelsystem
schmieren
Siehe Seite 35 Sprühfett (Aerosol)
Die-Attach-Unit
Linear-Führungen für Z-Hub schmieren
Siehe Seite 45 Multipette, Lubcon Thermoplex
ALN 1001/00
Intervall2 Tätigkeit 2 Seite 2 Arbeitsmittel/Ersatzteil 2
2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
2.6 Instandhaltungsplan Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE
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Flip-Unit
Höhenmesseinheit am Pipettenhalter auf
Leichtgängigkeit prüfen
Siehe Seite 59 keine
Flip-Unit
Linearführungen schmieren: am Flip-Kopf
und Z-Hub
Siehe Seite 55
und Siehe Seite
57
Multipette, Lubcon Thermoplex
ALN 1001/00
Vakuum-System
Vakuumleistung überprüfen, Verschmut-
zungen entfernen
Siehe Seite 68 Äthylalkohol, fusselfreies Tuch
6-Monat
Ausstechsystem
Vakuumdichtigkeit am Ausstechsystem tes-
ten
Siehe Seite 37 SWS GUI
Ausstechsystem
Verdreh-Arretierung auf Leichtgängigkeit prü-
fen
Siehe Seite 36 keine
Elastische Kupplung der Spindelantriebe
Auf korrekte Funktion überprüfen, Sichtprü-
fung, Befestigung nachziehen
Siehe Seite 48 keine
Energieketten auf Freigängigkeit und kor-
rekten Sitz der Verschlussclips prüfen
Siehe Seite 28 keine
Magazin-Lift
Führung der Schiebetür reinigen
Siehe Seite 65 Äthylalkohol, fusselfreies Tuch
Magazin-Lift
Seilzugsystem der Schiebetür überprüfen
Siehe Seite 65 keine
Wafer-Tisch
Einschraubzylinder an der Wafer-Aufnahme
prüfen
Siehe Seite 72 SWS GUI
Sichtprüfung und Reinigung des Maschine-
ninnenraums
Siehe Seite 27 Pinsel, Staubsauger, Reini-
gungsstäbchen, fusselfrei
1-Jahr
Ausstechsystem
Anschlagdämpfer am Ausstechsystem auf
Funktion überprüfen
Siehe Seite 39 keine
Ausstechsystem
Linearführung des Ausstechsystems reinigen
Siehe Seite 38 SIPLACE-Reinigungstuch
Die-Attach-Unit
Die-Attach-Kopf auf Leichtgängigkeit prüfen
Siehe Seite 47 keine
Die-Attach-Unit
Rückholeinheit auf Leichtgängigkeit prüfen
und Lager schmieren
Siehe Seite 46 Ölspender mit Structovis GHD
Die-Attach-Unit
Vakuumteil auf Dichtigkeit prüfen
Siehe Seite 47 keine
Flip-Unit
Angeschlossene Kabel und Schläuche auf
festen Sitz und Scheuerstellen überprüfen
Siehe Seite 59 keine
PC
PC-Filter reinigen
Siehe Seite 66 Filter
PC
PC-Lüfter auf Funktion überprüfen
Siehe Seite 66 keine
Intervall2 Tätigkeit 2 Seite 2 Arbeitsmittel/Ersatzteil 2