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2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2.7 Allgemeine Instandhaltungsarbeiten Ab So ftwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE 28 2.7.4 Energieketten auf Freigängigkeit und korrek…
Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung
Ausgabe 08/2011 DE 2.7 Allgemeine Instandhaltungsarbeiten
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Saugen Sie die Pipettenwechsler ab.
Die Pipettenwechsler sollten frei von Verschmutzungen bzw. Bauteilen sein, da diese die kor-
rekte Pipettenaufnahme und -ablage behindern können.
2.7.2 Manometer für den Abblasdruck von Die-Attach-Unit und Flip-Unit prüfen
2
2
2.7.3 Sichtprüfung und Reinigung des Maschineninnenraums
2
Schalten Sie den Bestücker und das SWS ordnungsgemäß aus.
Öffnen Sie Schutzhaube am zu prüfenden SWS.
Schwenken Sie den Magazin-Lift auf (siehe "Magazin-Lift aufschwenken" auf Seite 14).
Ziehen Sie die Versorgungseinheit heraus (siehe "Versorgungseinheit herausziehen" auf
Seite 15).
Reinigen Sie den Maschineninnenraum mit einem Staubsauger und einem Pinsel vorsichtig
und sorgfältig von Staub und Verschmutzungen.
Achten Sie dabei darauf, dass die induktiven Sensoren und Endschalter frei von Verschmut-
zung sind und dass sich keine abgeworfenen Bauteile im Innenraum befinden.
Reinigen Sie die offen liegenden und frei zugänglichen Platinen vorsichtig und sorgfältig mit
Pinsel und Reinigungsstäbchen von Staub und Verschmutzungen.
Schieben Sie die Versorgungseinheit zurück (siehe "Versorgungseinheit einschieben" auf
Seite 16) und schließen Sie den Magazin-Lift (siehe "Magazin-Lift schließen" auf Seite 15).
Intervall 2 wöchentlich 2
Arbeitsmittel 2 Spiegel 2
2
Legende
(1) Manometer für den Abblasdruck
Halten Sie an der Rückseite des SWS ei-
nen Spiegel in den Spalt zwischen SWS
und Bestücker.
Prüfen Sie, ob der angezeigte Druck, dem
bei der Inbetriebnahme eingestelltem
Druck entspricht (zwischen 0,5 und
0,8 bar).
1
Intervall 2 6-monatlich 2
Arbeitsmittel 2 Pinsel, Staubsauger, Reinigungsstäbchen, fusselfrei 2
2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
2.7 Allgemeine Instandhaltungsarbeiten Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE
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2.7.4 Energieketten auf Freigängigkeit und korrekten Sitz der Verschlussclips
prüfen
2
2
Intervall 2 6-monatlich 2
Arbeitsmittel 2 keine 2
2 2
Legende
(1) Verschlussclip
Überprüfen Sie den Energiekettenlauf an
Wafer-Tisch (X- und Y-Richtung) sowie
Wafer-Changer auf Freigängigkeit, Abrieb
und Kabelbruch.
Achten Sie darauf, dass die Verschlussc-
lips (1) an den Rückseiten der Ketten kor-
rekt sitzen.
Rasten Sie ausgehakte Clips wieder in
ihrer korrekten Position ein.
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Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung
Ausgabe 08/2011 DE 2.8 Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem (Die-Ejector)
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2.8 Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem
(Die-Ejector)
Für Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem müssen Sie den Wafer-Tisch manuell in die
Wafer-Change-Position fahren.
2.8.1 Wafer-Tisch in Wafer-Change-Position fahren
Das SWS muss eingeschaltet sein. Für das Verfahren des Wafer-Tisches ist in der SWS GUI das
Bediener-Level Process engineer oder Service erforderlich.
Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Manual operations -> Wafer handling und kli-
cken Sie auf den Button Go to change position.
Der Wafer-Tisch wird weggefahren.
Wechseln Sie in die Ansicht Service -> Galil I/O und fahren Sie mit der Option D007 Cylin-
der DE UP/Down den Die Ejector nach oben.
Der Die Ejector wird aufwärts gefahren, so dass er zugänglich ist.
Oder
Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Manual operations -> Die handling und wäh-
len Sie die Registerkarte Die eject system.
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Schalten Sie den Bestücker und das SWS ordnungsgemäß aus und sichern Sie sie gegen
unbefugtes Wiedereinschalten.
Öffnen Sie Schutzhaube am zu prüfenden SWS.
Nehmen Sie die erforderlichen Arbeiten vor.
HINWEIS
Nach dem manuellen Verfahren von Komponenten sollte das SWS nach dem Wiedereinschalten
initialisiert werden. 2
2
Klicken Sie hier.
Der Wafer-Tisch wird weggefahren und der Die Ejector wird aufwärts gefahren, so dass er
zugänglich ist.