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Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung Ausgabe 08/2011 DE 2.15 Instandhaltungsarbeite n am Vakuumsystem 69 2.15.2 V entile auf Dichtigkeit überprüfen 2 2  Überprüfen Sie die Dichtig…

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2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
2.15 Instandhaltungsarbeiten am Vakuumsystem Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE
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2.15 Instandhaltungsarbeiten am Vakuumsystem
2.15.1 Vakuumleistung und Saugkraft überprüfen
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VORSICHT
Für diese Überprüfung ist das Bediener-Level Service in der SWS GUI erforderlich. Sie darf nur
von entsprechend geschultem Personal vorgenommen werden. 2
Das SWS muss eingeschaltet sein und die entsprechende Schutzhaube geöffnet werden. Die
Stromversorgung der Portalachsen und der SWS-Achsen wird sofort unterbrochen. Die Por-
talachsen und alle Achsen des SWS bleiben stehen. Am Bildschirm wird eine entsprechende Mel-
dung ausgegeben. Übergehen Sie diese Meldung. 2
Wechseln Sie in die Ansicht Service -> USB outputs und schalten Sie alle Vakuum-Ver-
braucher aus.
Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Service -> USB IOs -> Registerkarte USB Pro-
grams.
Schalten Sie mit dem Button Main Vacuum Pump on das Vakuum ein und lesen Sie den
Wert unter Main Vacuum [mbar] ab. Der Wert sollte ca. 700 mbar betragen, wenn alle Va-
kuum-Verbraucher ausgeschaltet sind.
Achten Sie auf Blasgeräusche innerhalb der Maschine.
Suchen Sie bei einem etwaigen Vakuumverlust die potentiellen Schwachstellen ab:
– Vakuumdichtigkeit am Ausstechsystem testen (auf Seite 37)
– Flip-Unit: Pipettenbefestigung auf Dichtigkeit prüfen (auf Seite 51)
– Die-Attach-Unit: Pipettenbefestigung auf Dichtigkeit prüfen (auf Seite 43)
Intervall: 2 4-monatlich 2
Arbeitsmittel: 2
SWS GUI, Vakuum
Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung
Ausgabe 08/2011 DE 2.15 Instandhaltungsarbeiten am Vakuumsystem
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2.15.2 Ventile auf Dichtigkeit überprüfen
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Überprüfen Sie die Dichtigkeit der pneumatischen Ventile entsprechend den Herstelleranwei-
sungen.
2.15.3 Membrane der Vakuumpumpe wechseln
Um die Vakuumpumpe zugänglich zu machen, müssen Sie den Magazin-Lift öffnen (siehe
"Magazin-Lift aufschwenken" auf Seite 14) und die Versorgungseinheit herausziehen (siehe
"Versorgungseinheit herausziehen" auf Seite 15).
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Intervall: 2 1-jährlich 2
Arbeitsmittel: 2
Vakuum
Intervall: 2 1-jährlich 2
Arbeitsmittel: 2
Dämpfer
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Legende
(1) Dämpfer
(2) Membrane
Wechseln Sie Membrane der Vakuum-
pumpe entsprechend den Herstelleranwei-
sungen.
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2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
2.16 Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Changer Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE
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2.16 Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Changer
2.16.1 Führungsschiene des Greifers reinigen
HINWEIS
Die Führungsschiene des Greifers ist auf Lebzeit geschmiert und muss daher nur gereinigt
werden. 2
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Intervall: 2 1-monatlich 2
Arbeitsmittel: 2
SIPLACE-Reinigungstuch
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Legende
(1) Greiferschiene
(2) Läufer
Wischen Sie die Greiferschiene mit einem
SIPLACE-Reinigungstuch ab.
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