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2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2.6 Instandhaltungsplan Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE 24 Flip-Unit Höhenmesseinheit am Pipettenhalter auf Leichtgängigkeit…
Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung
Ausgabe 08/2011 DE 2.6 Instandhaltungsplan
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Greifer
Z-Führung schmieren
Siehe Seite 62 Multipette, Lubcon Thermoplex
ALN 1001/00 (linker Stellplatz)
SIPLACE-Reinigungstuch
(rechter Stellplatz)
Magazin-Lift
Z-Führungen und Z-Spindel reinigen
Siehe Seite 64 SIPLACE-Reinigungstuch
Wafer-Changer
Führungschiene reinigen
Siehe Seite 70 SIPLACE-Reinigungstuch
Wafer-Tisch
Optische Sensoren reinigen
Siehe Seite 74 optisches Tuch
Wafer-Tisch
X-/Y-Spindeln und Linearführungen reinigen
Siehe Seite 75 SIPLACE-Reinigungstuch
3-Monat
Ausstechsystem
Magnete und Keramikkugeln am Nadelsys-
tem reinigen
Siehe Seite 31 fusselfreies Tuch, Äthylalkohol,
Reinigungsstäbchen, fusselfrei
Ausstechsystem
Niederhalter-Pins am Nadelsystem überprü-
fen
Siehe Seite 32 keine
Ausstechsystem
Prismenteil und Magnetauflagen an der Zen-
triereinheit reinigen
Siehe Seite 32 fusselfreies Tuch, Äthylalkohol,
Reinigungsstäbchen, fusselfrei
Die-Attach-Unit
Pipettenbefestigung auf Dichtigkeit prüfen
Siehe Seite 43 SWS GUI
Die-Attach-Unit
Saugteller an der Pipettenaufnahme auf Dich-
tigkeit prüfen
Siehe Seite 44 ggf. Saugteller
Flip-Unit
Abwurfbehälter prüfen: leeren, Auflageflä-
chen reinigen
Siehe Seite 54 fusselfreies Tuch
Flip-Unit
Drehteil auf Leichtgängigkeit prüfen (darf
nicht in Kulisse haken)
Siehe Seite 51 keine
Flip-Unit
Pipettenbefestigung auf Dichtigkeit prüfen
Siehe Seite 51 keine
Flip-Unit
Saugteller an der Pipettenaufnahme auf Dich-
tigkeit prüfen
Siehe Seite 53 ggf. Saugteller
Pipettenhalter
Saugteller auf Beschädigung überprüfen, bei
Bedarf austauschen
ggf. Saugteller
4-Monat
Ausstechsystem
Lippendichtring an Nadelsystem und Zen-
triereinheit auf Dichtigkeit prüfen
Siehe Seite 33 keine
Ausstechsystem
Welle für die Z-Bewegung am Nadelsystem
schmieren
Siehe Seite 35 Sprühfett (Aerosol)
Die-Attach-Unit
Linear-Führungen für Z-Hub schmieren
Siehe Seite 45 Multipette, Lubcon Thermoplex
ALN 1001/00
Intervall2 Tätigkeit 2 Seite 2 Arbeitsmittel/Ersatzteil 2
2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
2.6 Instandhaltungsplan Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE
24
Flip-Unit
Höhenmesseinheit am Pipettenhalter auf
Leichtgängigkeit prüfen
Siehe Seite 59 keine
Flip-Unit
Linearführungen schmieren: am Flip-Kopf
und Z-Hub
Siehe Seite 55
und Siehe Seite
57
Multipette, Lubcon Thermoplex
ALN 1001/00
Vakuum-System
Vakuumleistung überprüfen, Verschmut-
zungen entfernen
Siehe Seite 68 Äthylalkohol, fusselfreies Tuch
6-Monat
Ausstechsystem
Vakuumdichtigkeit am Ausstechsystem tes-
ten
Siehe Seite 37 SWS GUI
Ausstechsystem
Verdreh-Arretierung auf Leichtgängigkeit prü-
fen
Siehe Seite 36 keine
Elastische Kupplung der Spindelantriebe
Auf korrekte Funktion überprüfen, Sichtprü-
fung, Befestigung nachziehen
Siehe Seite 48 keine
Energieketten auf Freigängigkeit und kor-
rekten Sitz der Verschlussclips prüfen
Siehe Seite 28 keine
Magazin-Lift
Führung der Schiebetür reinigen
Siehe Seite 65 Äthylalkohol, fusselfreies Tuch
Magazin-Lift
Seilzugsystem der Schiebetür überprüfen
Siehe Seite 65 keine
Wafer-Tisch
Einschraubzylinder an der Wafer-Aufnahme
prüfen
Siehe Seite 72 SWS GUI
Sichtprüfung und Reinigung des Maschine-
ninnenraums
Siehe Seite 27 Pinsel, Staubsauger, Reini-
gungsstäbchen, fusselfrei
1-Jahr
Ausstechsystem
Anschlagdämpfer am Ausstechsystem auf
Funktion überprüfen
Siehe Seite 39 keine
Ausstechsystem
Linearführung des Ausstechsystems reinigen
Siehe Seite 38 SIPLACE-Reinigungstuch
Die-Attach-Unit
Die-Attach-Kopf auf Leichtgängigkeit prüfen
Siehe Seite 47 keine
Die-Attach-Unit
Rückholeinheit auf Leichtgängigkeit prüfen
und Lager schmieren
Siehe Seite 46 Ölspender mit Structovis GHD
Die-Attach-Unit
Vakuumteil auf Dichtigkeit prüfen
Siehe Seite 47 keine
Flip-Unit
Angeschlossene Kabel und Schläuche auf
festen Sitz und Scheuerstellen überprüfen
Siehe Seite 59 keine
PC
PC-Filter reinigen
Siehe Seite 66 Filter
PC
PC-Lüfter auf Funktion überprüfen
Siehe Seite 66 keine
Intervall2 Tätigkeit 2 Seite 2 Arbeitsmittel/Ersatzteil 2
Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung
Ausgabe 08/2011 DE 2.6 Instandhaltungsplan
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2
PC
Sichtprüfung der elektrischen Anschlüsse
Siehe Seite 67 keine
Vakuum-System
Vakuumpumpe: Membrane wechseln
Siehe Seite 69 Membran der Vakuumpumpe
Vakuum-System
Ventile auf Dichtigkeit prüfen
Siehe Seite 69 keine
Wafer-Changer
Läufer auf spiel- und spannungsfreie Einstel-
lung prüfen
Siehe Seite 71
Bei Bedarf
Ausstechsystem
Ausstechnadel auf Bruch überprüfen
Siehe Seite 30 keine
Ausstechsystem
Ausstechsystem zentrieren
Siehe Seite 40 SWS GUI, Inbusschlüssel
Wafer-Tisch
Bei gehäufter Produktumstellung O-Ringe
der Waferauflageleisten auf Undichtigkeit
prüfen, ggf. erneuern und fetten
Siehe Seite 73 UNISILIKON L250L
Intervall2 Tätigkeit 2 Seite 2 Arbeitsmittel/Ersatzteil 2