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Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung Ausgabe 08/2011 DE 2.17 Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Tisch 75 2.17.5 X-/Y - Linearführungen und Spindeln reinigen HINWEIS Die X- und Y-Line…
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2.17 Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Tisch Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE
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2.17.4 Optische Sensoren reinigen
VORSICHT
Verwenden Sie auf keinen Fall ein Lösungsmittel zum Reinigen der Sensoren, um eine Beschä-
digung der Kunststoffoberfläche zu vermeiden. 2
2
2
Legende
(1) Optischer Sensor
Reinigen Sie die Sensoren mit einem optischen Tuch.
Intervall: 2 monatlich 2
Arbeitsmittel: 2
optisches Tuch
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Ausgabe 08/2011 DE 2.17 Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Tisch
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2.17.5 X-/Y- Linearführungen und Spindeln reinigen
HINWEIS
Die X- und Y-Linearführungen sowie die X- und Y-Spindeln am Wafer-Tisch sind auf Lebzeit
geschmiert und müssen daher nur gereinigt werden. 2
2
2
2
Legende
(1) Spindel am Wafer-Tisch
(2) Linearführung am Wafer-Tisch
Wischen Sie die Linearführungen und die Spindeln am Wafer-Tisch über ihre komplette Län-
ge mit einem SIPLACE-Reinigungstuch ab.
Intervall: 2 1-monatlich 2
Arbeitsmittel: 2
SIPLACE-Reinigungstuch
2 2
Abb. 2.17 - 1 X-Linearführung und X-Spindel Abb. 2.17 - 2 Y-Linearführung und Y-Spindel
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