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2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2.8 Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem (Die-Eje ctor) Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE 38 2.8.10 Linearführung des Aus…
Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung
Ausgabe 08/2011 DE 2.8 Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem (Die-Ejector)
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2.8.9 Vakuumdichtigkeit am Ausstechsystem testen
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Um einen Vakuumverlust am Ausstoßsystem auszuschließen muss dessen Vakuumwert regel-
mäßig überprüft werden. 2
VORSICHT
Für diese Überprüfung ist das Bediener-Level Service in der SWS GUI erforderlich. Sie darf nur
von entsprechend geschultem Personal vorgenommen werden. 2
Das SWS muss eingeschaltet sein und die entsprechende Schutzhaube geöffnet werden. 2
Die Stromversorgung der Portalachsen und der SWS-Achsen wird sofort unterbrochen. Die Por-
talachsen und alle Achsen des SWS bleiben stehen. Am Bildschirm wird eine entsprechende Mel-
dung ausgegeben. Übergehen Sie diese Meldung. 2
Wechseln Sie in die Ansicht Service -> USB outputs und schalten Sie alle Vakuum-Ver-
braucher aus.
Wechseln Sie in die Ansicht Service -> USB programs und lesen Sie den Haupt-Vakuum-
wert unter Main Vacuum [mbar] ab.
Der Wert sollte ca. 700 mbar betragen.
Legen Sie eine Folie auf das Ausstechsystem, so dass alle Öffnungen verschlossen sind.
Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Service -> Galil IOs -> Registerkarte Galil Out-
puts.
Schalten Sie mit dem Button D010 VacuumDieEjector das Vakuum des Die Ejectors ein.
Die aufgelegte Folie wird angesogen.
Wechseln Sie wieder in die Ansicht Service -> USB programs und lesen Sie den Haupt-
Vakuumwert unter Main Vacuum [mbar] ab.
Der Wert sollte möglichst den vorher angezeigten erreichen, d. h., keine Verluste aufweisen.
Wenn der Wert erheblich niedriger ist, muss ggf. die Lippendichteinheit getauscht werden
(siehe Serviceanleitung).
Intervall: 2 6-monatlich 2
Arbeitsmittel: 2 SWS GUI 2
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2.8.10 Linearführung des Ausstechsystems reinigen
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Die Linearführung des Ausstechsystems ist im Prinzip wartungsfrei. Wenn das Ausstechsystem
zu Servicezwecken aus dem Bestücker ausgebaut wird (siehe Serviceanleitung), sollte sie auf
Verschmutzung kontrolliert und ggf. mit einem SIPLACE-Reinigungstuch abgewischt werden.
2
Abb. 2.8 - 3 Linearführung der Ausstecheinheit (linker Stellplatz)
Wischen Sie die Linearführung mit einem SIPLACE-Reinigungstuch ab.
Intervall: 2 Bei Ausbau, ca. 1-Jahr 2
Arbeitsmittel: 2 SIPLACE-Reinigungstuch 2
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2.8.11 Anschlagdämpfer am Ausstechsystem auf Funktion überprüfen
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Die Anordnung von Dämpfer und Endanschlag am Ausstechsystem ist für die linken (1 oder 3)
und rechten (2 oder 4) Stellplätze unterschiedlich. 2
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Intervall: 2 jährlich 2
Arbeitsmittel: 2 keine 2
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Abb. 2.8 - 4 Dämpfer an Stellplatz 1 oder 3 (links)
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Abb. 2.8 - 5 Dämpfer an Stellplatz 2 oder 4 (rechts)
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Legende
(1) Dämpfer
(2) Endanschlag
Drücken Sie den Dämpfer mit dem Daumen herunter. Dabei muss ein spürbarer Widerstand
erkennbar sein.
Lassen Sie den Dämpfer wieder los. Der Dämpfer muss sich einwandfrei in seine Endlage
zurückbewegen.
Bei Bedarf muss der Dämpfer getauscht werden (siehe Serviceanleitung). 2
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