00195962-02_MM SWS-DE.pdf - 第41页
Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung Ausgabe 08/2011 DE 2.8 Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem (D ie-Ejector) 41 2 2 Abb. 2.8 - 6 Ausstechsystem am rechen Stellplatz Legende…
2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
2.8 Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem (Die-Ejector) Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE
40
2.8.12 Ausstechsystem zentrieren
2
VORSICHT
Für diese Überprüfung ist das Bediener-Level Process engineer in der SWS GUI erforderlich.
Sie darf nur von entsprechend geschultem Personal vorgenommen werden. 2
Das SWS muss eingeschaltet sein und die entsprechende Schutzhaube geöffnet werden.
Die Stromversorgung der Portalachsen und der SWS-Achsen wird sofort unterbrochen. Die Por-
talachsen und alle Achsen des SWS bleiben stehen. Am Bildschirm wird eine entsprechende Mel-
dung ausgegeben. Übergehen Sie diese Meldung.
Fahren Sie den Wafertisch in die Wechselposition und den Die Ejector nach oben (siehe "Wa-
fer-Tisch in Wafer-Change-Position fahren" auf Seite 29).
Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Manual Operations auf Live-Bild.
Lösen Sie die in der folgenden Abbildung gezeigten Schrauben (a und b) leicht.
Intervall: 2 bei Bedarf 2
Arbeitsmittel: 2 Inbusschraubenschlüssel 2
Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung
Ausgabe 08/2011 DE 2.8 Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem (Die-Ejector)
41
2
2
Abb. 2.8 - 6 Ausstechsystem am rechen Stellplatz
Legende
2
Richten Sie den Die Ejector mit Hilfe der Justierschrauben entsprechend in X- und Y-Rich-
tung aus.
Zentrieren Sie in der SWS GUI den Die Ejector anhand des Fadenkreuzes.
Fixieren Sie den Die Ejector mit den zuvor entfernten Schrauben, wenn er korrekt zentriert
ist. Achten Sie beim Anziehen der Schrauben darauf, dass er in der zentrierten Position ver-
bleibt.
HINWEIS
Sie können ein exakteres Ergebnis erzielen, indem Sie etwas Teflonband auf die Vakuumkappe
legen und die Nadel in Ausstechposition fahren. Dann können Sie den Die Ejector anhand der
Nadel zentrieren. 2
a
a
a
b
b
d
a
c
a) 4 Schrauben für X-Richtung b) 2 Schrauben für Y-Richtung
c) Justierschraube für X-Richtung d) Justierschraube für Y-Richtung
2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
2.9 Instandhaltungsarbeiten an der Die-Attach-Unit Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE
42
2.9 Instandhaltungsarbeiten an der Die-Attach-Unit
Um die Die-Attach-Unit zugänglich zu machen, müssen Sie zunächst die EMV-Abdeckung abneh-
men. Setzen Sie die Abdeckung nach Abschluss der Arbeiten wieder auf und fixieren Sie diese.
Warnung vor magnetischem Feld
Die Die-Attach-Unit enthält einen starken Magneten. Achten Sie darauf, dass keine metallischen
Gegenstände in den Bereich der Die-Attach-Unit gelangen, da diese vom Magneten angezogen
werden. 2
2.9.1 Mitnehmer reinigen und auf Leichtgängigkeit prüfen
2
2
Der Mitnehmer an der Die-Attach-Unit muss regelmäßig gereinigt werden, um die einwandfreie
Übergabe zwischen Flip-Unit und Die-Attach-Unit zu gewährleisten. 2
2
Intervall: 2 wöchentlich 2
Arbeitsmittel: 2 Äthylalkohol, Reinigungsstäbchen, fusselfrei 2
2 2
2 2
Abb. 2.9 - 1 Mitnehmer ohne Übergabe der Flip-Unit Abb. 2.9 - 2 Mitnehmer mit Übergabe der Flip-Unit
2
Legende
(1) Kulisse (2) Mitnehmer
(3) Segment 1 der Flip-Unit (4) Rollenstößel
Ziehen Sie die Kulisse (1) an der Die-Attach-Unit mit einer Hand vorsichtig zurück, bis der
Mitnehmer (2) zugänglich ist.
Reinigen Sie den Mitnehmer mit einem mit Äthylalkohol befeuchteten Reinigungsstäbchen.
Lassen Sie die Kulisse wieder los.
Bewegen Sie die Kulisse ein paar Mal hin und her. Wiederholen Sie dies mit dem Segment
1 der Flip-Unit in der Übergabeposition. Die Kulisse sollte leicht bewegbar sein.
Kontrollieren Sie den Rollenstößel auf Sauberkeit.
1
2
1
2
3
4