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Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung Ausgabe 08/2011 DE 2.17 Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Tisch 71 2.16.2 Läufer auf spiel- und sp annungsfreie Einstellung prüfen 2 2 2.17 Inst…
2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
2.16 Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Changer Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE
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2.16 Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Changer
2.16.1 Führungsschiene des Greifers reinigen
HINWEIS
Die Führungsschiene des Greifers ist auf Lebzeit geschmiert und muss daher nur gereinigt
werden. 2
2
2
Intervall: 2 1-monatlich 2
Arbeitsmittel: 2
SIPLACE-Reinigungstuch
2 2
Legende
(1) Greiferschiene
(2) Läufer
Wischen Sie die Greiferschiene mit einem
SIPLACE-Reinigungstuch ab.
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2
Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung
Ausgabe 08/2011 DE 2.17 Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Tisch
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2.16.2 Läufer auf spiel- und spannungsfreie Einstellung prüfen
2
2
2.17 Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Tisch
2.17.1 Auflageleisten für Wafer-Rahmen reinigen
2
2
Intervall: 2 1-jährlich 2
Arbeitsmittel: 2
keine
2 2
Legende
(1) Läufer
Achten Sie darauf, dass der Läufer spiel-
und spannungsfrei eingestellt ist. Die
Pfeile markieren die kritischen Stellen.
1
Intervall: 2 wöchentlich 2
Arbeitsmittel: 2
Äthylalkohol, fusselfreies Tuch
2 2
Legende
(1) Wafer-Auflagenleiste
Reinigen Sie die Auflageleisten für die Wa-
fer-Rahmen mit einem mit Äthylalkohol be-
feuchteten fusselfreien Tuch.
Achten Sie auf Schürfstellen und Abrieb.
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2.17.2 Einschraubzylinder an der Wafer-Aufnahme prüfen
2
Für diese Überprüfung muss das SWS eingeschaltet sein und die entsprechende Schutzhaube
geöffnet werden. In der SWS GUI ist das Bediener-Level Service erforderlich.
Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Service -> Galil Outputs und schalten Sie mit
dem Button D009 ZylinderWaferClampinTablePos die Wafer-Klemmung ein.
Die 4 Einschraubzylinder an der Wafer-Aufnahme fahren nach oben.
2
Intervall: 2 6-monatlich 2
Arbeitsmittel: 2
SWS GUI
2 2
Legende
(1) Pneumatischer Einschraubzylinder
Prüfen Sie, ob die 2 Einschraubzylinder an
den Wafer-Auflageleisten und 2 an der
Wafer-Arretierungsleiste gerade sind und
senkrecht und leicht gängig nach oben fah-
ren.
Bei Beschädigung müssen sie ausge-
tauscht werden (siehe Serviceanleitung).
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