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Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System Inhalt Ausgabe 08/2011 DE 5 2.13 Instandhaltungsarbeiten am Magazin-Lift . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6 3 2.13.1 Magazi…
Inhalt Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
Ausgabe 08/2011 DE
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2.8 Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem (Die-Ejector). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .29
2.8.1 Wafer-Tisch in Wafer-Change-Position fahren. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .29
2.8.2 Vakuumkappe reinigen und Ausstechnadel überprüfen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .30
2.8.3 Magnete und Keramikkugeln am Nadelsystem reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .31
2.8.4 Prismenteil und Magnetauflagen an der Zentriereinheit reinigen. . . . . . . . . . . . . .32
2.8.5 Niederhalter-Pins am Nadelsystem überprüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .32
2.8.6 Lippendichtring an Nadelsystem und Zentriereinheit auf Dichtigkeit prüfen. . . . . .33
2.8.7 Welle für die Z-Bewegung am Nadelsystem schmieren. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .35
2.8.8 Verdreh-Arretierung auf Leichtgängigkeit prüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .36
2.8.9 Vakuumdichtigkeit am Ausstechsystem testen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .37
2.8.10 Linearführung des Ausstechsystems reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .38
2.8.11 Anschlagdämpfer am Ausstechsystem auf Funktion überprüfen. . . . . . . . . . . . . .39
2.8.12 Ausstechsystem zentrieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .40
2.9 Instandhaltungsarbeiten an der Die-Attach-Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .42
2.9.1 Mitnehmer reinigen und auf Leichtgängigkeit prüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .42
2.9.2 Pipettenbefestigung auf Dichtigkeit prüfen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .43
2.9.3 Saugteller an der Pipettenaufnahme auf Dichtigkeit prüfen. . . . . . . . . . . . . . . . . .44
2.9.4 Linearführungen schmieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .45
2.9.5 Rückholeinheit schmieren und auf Leichtgängigkeit prüfen. . . . . . . . . . . . . . . . . .46
2.9.6 Die-Attach-Kopf auf Leichtgängigkeit prüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .47
2.9.7 Vakuumteil auf Dichtigkeit prüfen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .47
2.10 Instandhaltungsarbeiten an den elastische Kupplungen der Spindelantriebe . . . . . . . . . . . .48
2.10.1 Kupplungen am Wafertisch prüfen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .48
2.10.2 Kupplung am Greifer prüfen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .49
2.10.3 Kupplung am Magazin-Lift prüfen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .49
2.11 Instandhaltungsarbeiten an der Flip-Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .50
2.11.1 Kulisse und Mitnehmer reinigen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .50
2.11.2 Drehteil auf Leichtgängigkeit prüfen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .51
2.11.3 Pipettenbefestigung auf Dichtigkeit prüfen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .51
2.11.4 Saugteller an Pipettenaufnahme auf Dichtigkeit prüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .53
2.11.5 Abwurfbehälter prüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .54
2.11.6 Linearführungen schmieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .55
2.11.6.1 Z-Hub am Flip-Kopf schmieren. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .56
2.11.6.2 Z-Hub am Drehteil schmieren. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .56
2.11.7 Z-Hub des Drehteils prüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .57
2.11.7.1 Mechanische Überprüfung bei ausgeschalteter Maschine. . . . . . . . . . . . . . . . . . .57
2.11.7.2 Überprüfung mit Hilfe der SWS GUI bei eingeschalteter Maschine. . . . . . . . . . . .58
2.11.8 Höhenmesseinheit am Pipettenhalter prüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .59
2.11.9 Angeschlossene Kabel und Leitungen prüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .59
2.12 Instandhaltungsarbeiten am Greifer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .60
2.12.1 Greiferbacken reinigen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .60
2.12.2 Führungsschiene reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .61
2.12.3 Lager und Mitnehmernut am Sensorhebel schmieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .61
2.12.4 Z-Führung schmieren bzw. reinigen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .62
2.12.4.1 Z-Führung am linken Stellplatz schmieren. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .62
2.12.4.2 Z-Führung am rechten Stellplatz reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .62
Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System Inhalt
Ausgabe 08/2011 DE
5
2.13 Instandhaltungsarbeiten am Magazin-Lift. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63
2.13.1 Magazinauflage absaugen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63
2.13.2 Frame-Abfrage reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63
2.13.3 Z-Führungen und Z-Spindel reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64
2.13.4 Seilzugsystem der Schiebetür überprüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
2.13.5 Führung der Schiebetür reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
2.14 Instandhaltungsarbeiten am PC. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
2.14.1 PC-Filter reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
2.14.2 PC-Lüfter auf Funktion überprüfen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
2.14.3 Sichtprüfung der elektrischen Anschlüsse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67
2.15 Instandhaltungsarbeiten am Vakuumsystem . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
2.15.1 Vakuumleistung und Saugkraft überprüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
2.15.2 Ventile auf Dichtigkeit überprüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69
2.15.3 Membrane der Vakuumpumpe wechseln. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69
2.16 Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Changer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70
2.16.1 Führungsschiene des Greifers reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70
2.16.2 Läufer auf spiel- und spannungsfreie Einstellung prüfen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
2.17 Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Tisch. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
2.17.1 Auflageleisten für Wafer-Rahmen reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
2.17.2 Einschraubzylinder an der Wafer-Aufnahme prüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72
2.17.3 O-Ringe an der Wafer-Aufnahme auf Dichtigkeit prüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73
2.17.4 Optische Sensoren reinigen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74
2.17.5 X-/Y- Linearführungen und Spindeln reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75
Inhalt Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
Ausgabe 08/2011 DE
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