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Inhalt Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System Ausgabe 08/2011 DE 6
Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System Inhalt
Ausgabe 08/2011 DE
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2.13 Instandhaltungsarbeiten am Magazin-Lift. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63
2.13.1 Magazinauflage absaugen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63
2.13.2 Frame-Abfrage reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63
2.13.3 Z-Führungen und Z-Spindel reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64
2.13.4 Seilzugsystem der Schiebetür überprüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
2.13.5 Führung der Schiebetür reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
2.14 Instandhaltungsarbeiten am PC. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
2.14.1 PC-Filter reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
2.14.2 PC-Lüfter auf Funktion überprüfen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
2.14.3 Sichtprüfung der elektrischen Anschlüsse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67
2.15 Instandhaltungsarbeiten am Vakuumsystem . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
2.15.1 Vakuumleistung und Saugkraft überprüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
2.15.2 Ventile auf Dichtigkeit überprüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69
2.15.3 Membrane der Vakuumpumpe wechseln. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69
2.16 Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Changer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70
2.16.1 Führungsschiene des Greifers reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70
2.16.2 Läufer auf spiel- und spannungsfreie Einstellung prüfen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
2.17 Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Tisch. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
2.17.1 Auflageleisten für Wafer-Rahmen reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
2.17.2 Einschraubzylinder an der Wafer-Aufnahme prüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72
2.17.3 O-Ringe an der Wafer-Aufnahme auf Dichtigkeit prüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73
2.17.4 Optische Sensoren reinigen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74
2.17.5 X-/Y- Linearführungen und Spindeln reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75
Inhalt Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
Ausgabe 08/2011 DE
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Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 1 Sicherheitshinweise
Ausgabe 08/2011 DE 1.1 Lage von Schaltern und Tastern am SWS
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1 Sicherheitshinweise
1.1 Lage von Schaltern und Tastern am SWS
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Abb. 1.1 - 1 Lage von Schaltern und Tastern am SWS
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Halten Sie bei allen Instandhaltungsarbeiten die geltenden Sicherheits- und Unfallverhü-
tungsvorschriften Ihres Landes ein.
Beachten Sie die Sicherheitshinweise der entsprechenden Betriebsanleitung.
Beachten Sie darüber hinaus die speziellen Sicherheitshinweise in diesem Kapitel.
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(1) Betriebsanzeige (2) NOT-HALT-Taster
(3) Hauptschalter