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2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2.8 Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem (Die-Eje ctor) Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE 32 2.8.4 Prismenteil und Magnet…
Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung
Ausgabe 08/2011 DE 2.8 Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem (Die-Ejector)
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2.8.3 Magnete und Keramikkugeln am Nadelsystem reinigen
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Verschmutzungen an den Magenten und Keramikkugeln an der Unterseite des Nadelsystems
müssen regelmäßig entfernt werden, um den korrekten Sitz des Nadelsystems in der Zentrierein-
heit zu gewährleisten.
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Intervall:
Arbeitsmittel:
3-monatlich
fusselfreies Tuch, Äthylalkohol, Reinigungsstäbchen, fusselfrei
2
Legende
(1) Keramikkugeln
(2) Magnete
Wischen Sie die Magnete und die
Keramikkugeln mit einem fusselfreien
Tuch ab.
Reinigen Sie die Oberflächen mit einem
mit Äthylalkohol befeuchteten Reinigungs-
stäbchen.
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2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
2.8 Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem (Die-Ejector) Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE
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2.8.4 Prismenteil und Magnetauflagen an der Zentriereinheit reinigen
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Verschmutzungen an den Magentauflagen und den Prismen der Zentriereinheit müssen regel-
mäßig entfernt werden, um den korrekten Sitz des Nadelsystems in der Zentriereinheit zu gewähr-
leisten. 2
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2.8.5 Niederhalter-Pins am Nadelsystem überprüfen
2
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Die Niederhalterpins am Nadelssystem müssen regelmäßig auf Bruch oder Verbiegung überprüft
werden, um den korrekten Sitz des Nadelsystems in der Zentriereinheit zu gewährleisten. 2
2
Intervall: 2 3-monatlich 2
Arbeitsmittel: 2 fusselfreies Tuch, Äthylalkohol, Reinigungsstäbchen, fusselfrei 2
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Legende
(1) Prismen
(2) Magnetauflagen
Wischen Sie die Magnetauflagen und die
Prismen mit einem fusselfreien Tuch ab.
Reinigen Sie die Oberflächen mit einem
mit Äthylalkohol befeuchteten Reinigungs-
stäbchen.
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Intervall: 2 3-monatlich 2
Arbeitsmittel: 2 keine 2
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Legende
(1) Niederhalter-Pin
Stellen Sie sicher, dass die drei Niederhal-
ter-Pins weder verbogen noch gebrochen
sind.
Wenn die Pins beschädigt sind, muss das
Nadelsystem ausgetauscht werden (siehe
Serviceanleitung). 2
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2.8.6 Lippendichtring an Nadelsystem und Zentriereinheit auf Dichtigkeit prüfen
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Um die Vakuumdichtigkeit zu gewährleisten müssen die Lippendichtringe (1) an Nadelsystem und
Zentriereinheit regelmäßig auf Verschleiß überprüft werden. 2
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Intervall: 2 4-monatlich 2
Arbeitsmittel: 2 keine 2
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2 2
Abb. 2.8 - 1 Nadelsystem Abb. 2.8 - 2 Zentriereinheit
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Legende
(1) Dichtungseinheit mit Lippendichtring
(2) Arretierungsbohrung
(3) Arretierungs-Pin
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(4) seitliche Inbusschraube
(5) Befestigungsschrauben Arretierungsring
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