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Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung Ausgabe 08/2011 DE 2.10 Instandhaltungsar beiten an den elastische Kupplungen der Spindelantriebe 49 2.10.2 Kupplung am Greifer prüfen 2 2 Die …
2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
2.10 Instandhaltungsarbeiten an den elastische Kupplungen der Spindelantriebe Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011
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2.10 Instandhaltungsarbeiten an den elastische Kupp-
lungen der Spindelantriebe
Die elastischen Kupplungen der Spindelantriebe müssen regelmäßig auf Verschleiß und korrekte
Funktion überprüft werden. 2
2.10.1 Kupplungen am Wafertisch prüfen
2
2
Am Wafer-Tisch befinden sich eine X- und eine Y-Kupplung. 2
2
Intervall: 2 6-monatlich 2
Arbeitsmittel: 2
Inbusschlüssel 2,5
2 2
2
Abb. 2.10 - 1 X-Kupplung am Wafer-Tisch
2
Abb. 2.10 - 2 Y-Kupplung am Wafer-Tisch
2
Legende
(1) Befestigungsschraube
(2) Faltenbalg
Prüfen Sie alle Befestigungsschrauben auf festen Sitz und ziehen Sie diese wenn nötig
nach.
Drehen Sie die Spindeln und achten Sie dabei auf knackende Geräusche, die Hinweis auf
einen Defekt der Kupplung geben.
Prüfen Sie die Faltenbälge auf Riss-Spuren (leuchten Sie die Kupplung ggf. mit einer Ta-
schenlampe aus, da Risse meistens auf der Innenseite entstehen).
Tauschen Sie bei Beschädigung die entsprechende Kupplung aus (siehe Serviceanleitung).
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Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung
Ausgabe 08/2011 DE 2.10 Instandhaltungsarbeiten an den elastische Kupplungen der Spindelantriebe
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2.10.2 Kupplung am Greifer prüfen
2
2
Die Kupplung am Greifer ist mit einer Abdeckplatte verdeckt. 2
2
2.10.3 Kupplung am Magazin-Lift prüfen
2
2
Die Kupplung für die Z-Richtung befindet sich unten im Magazin-Lift.
2
Intervall: 2 6-monatlich 2
Arbeitsmittel: 2
Inbusschlüssel 1,5
2 2
Legende
(1) Abdeckung der Kupplung
(2) Öffnungen oberhalb der Befestigungs-
schrauben
Drehen Sie die Kupplung von Hand in eine
Position, in der die Befestigungsschrauben
durch die Öffnungen zugänglich sind.
Ziehen Sie bei Bedarf die Befestigungs-
schrauben fest.
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Intervall: 2 6-monatlich 2
Arbeitsmittel: 2
Inbusschlüssel 2,5
2 2
2
Ziehen Sie bei Bedarf die Befestigungs-
schrauben fest.
Prüfen Sie den Faltenbalg auf Riss-Spu-
ren. Bei Beschädigung muss die Kupplung
ausgetauscht werden.
2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
2.11 Instandhaltungsarbeiten an der Flip-Unit Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE
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2.11 Instandhaltungsarbeiten an der Flip-Unit
Um die Flip-Unit zugänglich zu machen, müssen Sie zunächst die EMV-Abdeckung abnehmen
und dann die Abdeckung oberhalb des Flip-Kopfes.
Lösen Sie die sechs Inbusschrauben, mit denen die EMV-Abdeckung befestigt ist, und neh-
men Sie diese ab.
Lösen Sie die beiden Inbusschrauben, mit denen die Abdeckung oberhalb des Flip-Kopfes
befestigt ist und nehmen Sie diese ab.
Führen Sie die erforderlichen Arbeiten durch.
Setzen Sie nach Abschluss der Arbeiten die Abdeckungen wieder auf und befestigen Sie di-
ese.
Warnung vor magnetischem Feld
Die Flip-Unit enthält einen starken Magneten. Achten Sie darauf, dass keine metallischen Gegen-
stände in den Bereich der Flip-Unit gelangen, da diese vom Magneten angezogen werden. 2
– Nehmen Sie keine über die Instandhaltung hinausgehenden Arbeiten an der Flip-Unit vor. Bei
einem Defekt wird die Flip-Unit komplett augetauscht.
2.11.1 Kulisse und Mitnehmer reinigen
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Intervall: 2 wöchentlich 2
Arbeitsmittel: 2
Äthylalkohol, Reinigungsstäbchen, fusselfrei
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Legende
(1) Kulisse
(2) Drehteil
(3) Reinigungsstäbchen
Reinigen Sie die Kulisse (1) rund um das
Drehteil (2) mit einem Reinigungsstäbchen
oder einem mit Äthylalkohol befeuchteten
Reinigungsstäbchen.
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