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Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung Ausgabe 08/2011 DE 2.8 Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem (D ie-Ejector) 31 2.8.3 Magnete und Keramikkuge ln am Nadelsystem rein igen 2 …
2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
2.8 Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem (Die-Ejector) Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE
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2.8.2 Vakuumkappe reinigen und Ausstechnadel überprüfen
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Um ein einwandfreies Ansaugen der Wafer-Folie zu gewährleisten, muss die Vakuumkappe des
Nadelsystems frei von Verschmutzungen und Wafer-Resten sein.
Drehen Sie die Verdreh-Arretierung der Zentriereinheit im Uhrzeigersinn und heben Sie das
Nadelsystem heraus.
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Intervall monatlich oder bei Bedarf
Arbeitsmittel Druckluft, fusselfreies Tuch, evt. etwas Äthylalkohol
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Legende
(1) Vakuumkappe
Ziehen Sie die Vakuumkappe (1) vom
Nadelsystem.
Halten Sie die Kappe gegen das Licht und
prüfen Sie, ob die Vakuumöffnungen der
Kappe frei sind.
Reinigen Sie die Kappe mit einem fussel-
freien Tuch, wenn nötig mit Druckluft.
Die ringförmigen Öffnungen müssen frei
von Verunreinigungen sein.
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Legende
(2) Ausstechnadel
Prüfen Sie die Ausstechnadel auf Bruch
oder Abnutzung.
Wenn nötig, muss die Nadel ausgetauscht
und nach dem Austausch mit Hilfe der
Einstell-Lehre eingestellt werden (siehe
Betriebsanleitung).
Setzen Sie die Vakuumkappe wieder auf.
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Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung
Ausgabe 08/2011 DE 2.8 Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem (Die-Ejector)
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2.8.3 Magnete und Keramikkugeln am Nadelsystem reinigen
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Verschmutzungen an den Magenten und Keramikkugeln an der Unterseite des Nadelsystems
müssen regelmäßig entfernt werden, um den korrekten Sitz des Nadelsystems in der Zentrierein-
heit zu gewährleisten.
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Intervall:
Arbeitsmittel:
3-monatlich
fusselfreies Tuch, Äthylalkohol, Reinigungsstäbchen, fusselfrei
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Legende
(1) Keramikkugeln
(2) Magnete
Wischen Sie die Magnete und die
Keramikkugeln mit einem fusselfreien
Tuch ab.
Reinigen Sie die Oberflächen mit einem
mit Äthylalkohol befeuchteten Reinigungs-
stäbchen.
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2.8.4 Prismenteil und Magnetauflagen an der Zentriereinheit reinigen
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Verschmutzungen an den Magentauflagen und den Prismen der Zentriereinheit müssen regel-
mäßig entfernt werden, um den korrekten Sitz des Nadelsystems in der Zentriereinheit zu gewähr-
leisten. 2
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2.8.5 Niederhalter-Pins am Nadelsystem überprüfen
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Die Niederhalterpins am Nadelssystem müssen regelmäßig auf Bruch oder Verbiegung überprüft
werden, um den korrekten Sitz des Nadelsystems in der Zentriereinheit zu gewährleisten. 2
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Intervall: 2 3-monatlich 2
Arbeitsmittel: 2 fusselfreies Tuch, Äthylalkohol, Reinigungsstäbchen, fusselfrei 2
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Legende
(1) Prismen
(2) Magnetauflagen
Wischen Sie die Magnetauflagen und die
Prismen mit einem fusselfreien Tuch ab.
Reinigen Sie die Oberflächen mit einem
mit Äthylalkohol befeuchteten Reinigungs-
stäbchen.
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Intervall: 2 3-monatlich 2
Arbeitsmittel: 2 keine 2
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Legende
(1) Niederhalter-Pin
Stellen Sie sicher, dass die drei Niederhal-
ter-Pins weder verbogen noch gebrochen
sind.
Wenn die Pins beschädigt sind, muss das
Nadelsystem ausgetauscht werden (siehe
Serviceanleitung). 2
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