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Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung Ausgabe 08/2011 DE 2.8 Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem (D ie-Ejector) 39 2.8.1 1 Anschlagdämp fer am Ausstech system auf Funktion übe…
2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
2.8 Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem (Die-Ejector) Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE
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2.8.10 Linearführung des Ausstechsystems reinigen
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Die Linearführung des Ausstechsystems ist im Prinzip wartungsfrei. Wenn das Ausstechsystem
zu Servicezwecken aus dem Bestücker ausgebaut wird (siehe Serviceanleitung), sollte sie auf
Verschmutzung kontrolliert und ggf. mit einem SIPLACE-Reinigungstuch abgewischt werden.
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Abb. 2.8 - 3 Linearführung der Ausstecheinheit (linker Stellplatz)
Wischen Sie die Linearführung mit einem SIPLACE-Reinigungstuch ab.
Intervall: 2 Bei Ausbau, ca. 1-Jahr 2
Arbeitsmittel: 2 SIPLACE-Reinigungstuch 2
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Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung
Ausgabe 08/2011 DE 2.8 Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem (Die-Ejector)
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2.8.11 Anschlagdämpfer am Ausstechsystem auf Funktion überprüfen
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Die Anordnung von Dämpfer und Endanschlag am Ausstechsystem ist für die linken (1 oder 3)
und rechten (2 oder 4) Stellplätze unterschiedlich. 2
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Intervall: 2 jährlich 2
Arbeitsmittel: 2 keine 2
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Abb. 2.8 - 4 Dämpfer an Stellplatz 1 oder 3 (links)
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Abb. 2.8 - 5 Dämpfer an Stellplatz 2 oder 4 (rechts)
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Legende
(1) Dämpfer
(2) Endanschlag
Drücken Sie den Dämpfer mit dem Daumen herunter. Dabei muss ein spürbarer Widerstand
erkennbar sein.
Lassen Sie den Dämpfer wieder los. Der Dämpfer muss sich einwandfrei in seine Endlage
zurückbewegen.
Bei Bedarf muss der Dämpfer getauscht werden (siehe Serviceanleitung). 2
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2.8.12 Ausstechsystem zentrieren
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VORSICHT
Für diese Überprüfung ist das Bediener-Level Process engineer in der SWS GUI erforderlich.
Sie darf nur von entsprechend geschultem Personal vorgenommen werden. 2
Das SWS muss eingeschaltet sein und die entsprechende Schutzhaube geöffnet werden.
Die Stromversorgung der Portalachsen und der SWS-Achsen wird sofort unterbrochen. Die Por-
talachsen und alle Achsen des SWS bleiben stehen. Am Bildschirm wird eine entsprechende Mel-
dung ausgegeben. Übergehen Sie diese Meldung.
Fahren Sie den Wafertisch in die Wechselposition und den Die Ejector nach oben (siehe "Wa-
fer-Tisch in Wafer-Change-Position fahren" auf Seite 29).
Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Manual Operations auf Live-Bild.
Lösen Sie die in der folgenden Abbildung gezeigten Schrauben (a und b) leicht.
Intervall: 2 bei Bedarf 2
Arbeitsmittel: 2 Inbusschraubenschlüssel 2