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2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2.9 Instandhaltungsarbeiten an der Die-Attach-Uni t Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE 46 Fahren Sie die Z-Achse ca. 5 mal vo…
Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung
Ausgabe 08/2011 DE 2.9 Instandhaltungsarbeiten an der Die-Attach-Unit
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2.9.4 Linearführungen schmieren
VORSICHT
Um Zugang zu den Linearführungen von Lineareinheit und Rückholeinheit zu erhalten, ist es nö-
tig, die Lineareinheit auszubauen. Der Aus- und Einbau ist ausschließlich geschultem Serviceper-
sonal vorbehalten und wird in der Serviceanleitung beschrieben. 2
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2
Befüllen Sie die Multipette (siehe "Multipette füllen und einstellen" auf Seite 18).
Linearführung für Z-Hub schmieren
Halten Sie die Z-Achse am Läufer in der oberen Position.
Bringen Sie 4µl Schmiermittel auf die äußere Laufbahn der Schiene auf.
Achten Sie darauf, dass die Dosierpipette nahe am Wagen der Führung angesetzt wird.
Fahren Sie die Z-Achse ca. 5 mal von Hand aus und ein.
Bringen Sie nochmals 4µl Schmiermittel auf.
Fahren Sie die Z-Achse nochmals ca. 5 mal von Hand aus und ein.
Lassen Sie die Z-Achse in der unteren Position stehen.
Bringen Sie 4µl Schmiermittel auf die innere Laufbahn des Wagens auf.
Achten Sie darauf, dass die Dosierpipette nahe der oberen Kante des Wagens angesetzt
wird.
Intervall: 2 4-monatlich 2
Arbeitsmittel: 2
Multipette, Lubcon Thermoplex ALN 1001/00
2
2 2
Abb. 2.9 - 3 Lineareinheit der Die-Attach-Unit
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(1) Schmierstellen an Unter-
seite der Lineareinheit
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(1) Schmierstelle an
Linearführung der
Rückholeinheit
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2.9 Instandhaltungsarbeiten an der Die-Attach-Unit Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE
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Fahren Sie die Z-Achse ca. 5 mal von Hand ein und aus.
Lassen Sie die Z-Achse in der unteren Position stehen.
Bringen Sie nochmals 4µl Schmiermittel auf die innere Laufbahn des Wagens.
Fahren Sie die Z-Achse ca. 5 mal von Hand ein und aus.
2
VORSICHT
Gehen Sie beim Schmieren der Linearführung besonders sorgfältig vor.
Es darf kein Schmiermittel auf die Lese-Einheit gelangen. 2
Linearführung der Rückholeinheit schmieren
Bringen Sie 4µl Schmiermittel auf die Schmierstelle auf.
Fahren Sie die Linearführung ca. 5 mal von Hand hin und her.
Bringen Sie nochmals 4µl Schmiermittel auf.
Fahren Sie die Linearführung nochmals ca. 5 mal von Hand hin und her.
2.9.5 Rückholeinheit schmieren und auf Leichtgängigkeit prüfen
2
2
Intervall: 2 4-monatlich 2
Arbeitsmittel: 2
Sprühfett (Aerosol)
2
Legende
(1 - 3)Schmierstellen an der Mechanik der
Rückholeinheit
Schmieren Sie die Mechanik an den ge-
zeigten Stellen (Pos. 1 - 3). Nehmen Sie
ggf. ein Reinigungsstäbchen zur Hilfe, um
das Sprühfett gezielt aufzutragen.
Ziehen Sie die Mechanik der Rückholein-
heit von Hand nach hinten.
Sie muss leichtgängig bewegbar sein.
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Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung
Ausgabe 08/2011 DE 2.9 Instandhaltungsarbeiten an der Die-Attach-Unit
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2.9.6 Die-Attach-Kopf auf Leichtgängigkeit prüfen
2
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2.9.7 Vakuumteil auf Dichtigkeit prüfen
2
2
2
2
2
Intervall: 2 jährlich 2
Arbeitsmittel: 2
keine
2
Legende
(1) Die-Attach-Kopf
Drehen Sie den Die-Attach-Kopf von Hand
hin und her.
Er muss leichtgängig drehbar sein und darf
nicht haken.
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Intervall: 2 jährlich 2
Arbeitsmittel: 2
Vakuum
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Legende
(1) Saugteller am Die-Attach-Kopf
(2) Vakuumanschluss
Schalten Sie das Vakuum ein und prüfen
Sie den Vakuumanschluss auf Dichtigkeit.
Achten Sie dabei auf Blasgeräusche.
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