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2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2.10 Instandhaltungsarbeiten an den elastische Kupplungen der Spindelantriebe Ab Softwarever sion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE 48 2.10 Inst …
Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung
Ausgabe 08/2011 DE 2.9 Instandhaltungsarbeiten an der Die-Attach-Unit
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2.9.6 Die-Attach-Kopf auf Leichtgängigkeit prüfen
2
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2.9.7 Vakuumteil auf Dichtigkeit prüfen
2
2
2
2
2
Intervall: 2 jährlich 2
Arbeitsmittel: 2
keine
2
Legende
(1) Die-Attach-Kopf
Drehen Sie den Die-Attach-Kopf von Hand
hin und her.
Er muss leichtgängig drehbar sein und darf
nicht haken.
1
Intervall: 2 jährlich 2
Arbeitsmittel: 2
Vakuum
2
Legende
(1) Saugteller am Die-Attach-Kopf
(2) Vakuumanschluss
Schalten Sie das Vakuum ein und prüfen
Sie den Vakuumanschluss auf Dichtigkeit.
Achten Sie dabei auf Blasgeräusche.
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2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
2.10 Instandhaltungsarbeiten an den elastische Kupplungen der Spindelantriebe Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011
DE
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2.10 Instandhaltungsarbeiten an den elastische Kupp-
lungen der Spindelantriebe
Die elastischen Kupplungen der Spindelantriebe müssen regelmäßig auf Verschleiß und korrekte
Funktion überprüft werden. 2
2.10.1 Kupplungen am Wafertisch prüfen
2
2
Am Wafer-Tisch befinden sich eine X- und eine Y-Kupplung. 2
2
Intervall: 2 6-monatlich 2
Arbeitsmittel: 2
Inbusschlüssel 2,5
2 2
2
Abb. 2.10 - 1 X-Kupplung am Wafer-Tisch
2
Abb. 2.10 - 2 Y-Kupplung am Wafer-Tisch
2
Legende
(1) Befestigungsschraube
(2) Faltenbalg
Prüfen Sie alle Befestigungsschrauben auf festen Sitz und ziehen Sie diese wenn nötig
nach.
Drehen Sie die Spindeln und achten Sie dabei auf knackende Geräusche, die Hinweis auf
einen Defekt der Kupplung geben.
Prüfen Sie die Faltenbälge auf Riss-Spuren (leuchten Sie die Kupplung ggf. mit einer Ta-
schenlampe aus, da Risse meistens auf der Innenseite entstehen).
Tauschen Sie bei Beschädigung die entsprechende Kupplung aus (siehe Serviceanleitung).
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Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung
Ausgabe 08/2011 DE 2.10 Instandhaltungsarbeiten an den elastische Kupplungen der Spindelantriebe
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2.10.2 Kupplung am Greifer prüfen
2
2
Die Kupplung am Greifer ist mit einer Abdeckplatte verdeckt. 2
2
2.10.3 Kupplung am Magazin-Lift prüfen
2
2
Die Kupplung für die Z-Richtung befindet sich unten im Magazin-Lift.
2
Intervall: 2 6-monatlich 2
Arbeitsmittel: 2
Inbusschlüssel 1,5
2 2
Legende
(1) Abdeckung der Kupplung
(2) Öffnungen oberhalb der Befestigungs-
schrauben
Drehen Sie die Kupplung von Hand in eine
Position, in der die Befestigungsschrauben
durch die Öffnungen zugänglich sind.
Ziehen Sie bei Bedarf die Befestigungs-
schrauben fest.
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Intervall: 2 6-monatlich 2
Arbeitsmittel: 2
Inbusschlüssel 2,5
2 2
2
Ziehen Sie bei Bedarf die Befestigungs-
schrauben fest.
Prüfen Sie den Faltenbalg auf Riss-Spu-
ren. Bei Beschädigung muss die Kupplung
ausgetauscht werden.