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Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung Ausgabe 08/2011 DE 2.5 Baugruppenübersicht des SWS 21 2 Abb. 2.5 - 2 SIPLACE Wafer System (SWS) - von hinten Die Druckluf tversorgung des SWS e…
2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
2.5 Baugruppenübersicht des SWS Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE
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2.5 Baugruppenübersicht des SWS
Das SWS besteht aus den folgenden Hauptbaugruppen.
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Abb. 2.5 - 1 SIPLACE Wafer System (SWS) - seitlich
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(1) Greifer (2) Flip-Unit
(3) Einbauplatz für Optionen (Die-Attach Unit
oder Linear Dipping Unit)
(4) Die-Ejector (Ausstechsystem)
(5) Versorgungseinheit (PC, Vakuum-
Pumpe)
(6) XY Unit
(7) Wafer Wechsel System (Magazin-Lift) (8) Stützfuß (eingeklappt)
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Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung
Ausgabe 08/2011 DE 2.5 Baugruppenübersicht des SWS
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Abb. 2.5 - 2 SIPLACE Wafer System (SWS) - von hinten
Die Druckluftversorgung des SWS erfolgt direkt durch den Bestückautomaten (siehe Betriebsan-
leitung). Für die Vakuumversorgung ist das SWS mit einer eigenen Vakuumpumpe ausgestattet.
(1) Grundrahmen (2) Barcodescanner je nach Konfiguration entweder am
Wafer-Wechsler oder am Greifer
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2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
2.6 Instandhaltungsplan Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE
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2.6 Instandhaltungsplan
Als Grundlage für unsere Instandhaltungsintervalle nehmen wir folgende Maschinen-Auslastung
an:
acht Stunden pro Schicht, drei Schichten pro Tag, fünf Tage die Woche, vier Wochen pro Monat.2
HINWEIS
Die "tägliche Instandhaltung" bzw. "Instandhaltung nach jeder Schicht" sind Reinigungsarbeiten
und somit Bestandteile der Maschinen-Bedienung. Diese muss bei Bedarf erledigt werden,
z.B. der Abfallbehälter muss je nach Abfallmenge mehrmals am Tag geleert werden. 2
2.6.1 Instandhaltungsplan nach Intervallen
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Intervall2 Tätigkeit 2 Seite 2 Arbeitsmittel/Ersatzteil 2
1 Tag
Abwurfbehälter leeren und Pipettenwechsler
absaugen
Siehe Seite 26 Staubsauger
1-Woche
Abblasdruck-Manometer für Die-Attach-Unit
und Flip-Unit prüfen
Siehe Seite 27 Spiegel
Die-Attach-Unit
Mitnehmer reinigen und auf Leichtgängigkeit
prüfen
Siehe Seite 42 Äthylalkohol, Reinigungsstäb-
chen, fusselfrei
Flip-Unit
Kulisse / Mitnehmer reinigen
Siehe Seite 50 Äthylalkohol, Reinigungsstäb-
chen, fusselfrei
Greifer
Greiferbacken reinigen
Siehe Seite 60 Äthylalkohol, fusselfreies Tuch
Magazin-Lift
Frame-Abfrage reinigen
Siehe Seite 63 optisches Tuch
Magazin-Lift
Magazinauflage absaugen
Siehe Seite 63 Staubsauger, Pinsel
Wafer-Tisch
Auflagleiste für Wafer-Rahmen reinigen und
auf Schürfstellen achten
Siehe Seite 71 Äthylalkohol, fusselfreies Tuch
1-Monat
Ausstechsystem
Vakuumkappe reinigen
Siehe Seite 30 Druckluft, fusselfreies Tuch,
evt. etwas Äthylalkohol
Greifer
Führungen reinigen
Siehe Seite 61 SIPLACE-Reinigungstuch
Greifer
Lager und Mitnehmernut am Sensorhebel
schmieren
Siehe Seite 61 Sprühfett Aerosol