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Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung Ausgabe 08/2011 DE 2.8 Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem (D ie-Ejector) 33 2.8.6 Lippendichtring an Na delsystem und Zentriereinh eit a…
2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
2.8 Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem (Die-Ejector) Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE
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2.8.4 Prismenteil und Magnetauflagen an der Zentriereinheit reinigen
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Verschmutzungen an den Magentauflagen und den Prismen der Zentriereinheit müssen regel-
mäßig entfernt werden, um den korrekten Sitz des Nadelsystems in der Zentriereinheit zu gewähr-
leisten. 2
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2.8.5 Niederhalter-Pins am Nadelsystem überprüfen
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Die Niederhalterpins am Nadelssystem müssen regelmäßig auf Bruch oder Verbiegung überprüft
werden, um den korrekten Sitz des Nadelsystems in der Zentriereinheit zu gewährleisten. 2
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Intervall: 2 3-monatlich 2
Arbeitsmittel: 2 fusselfreies Tuch, Äthylalkohol, Reinigungsstäbchen, fusselfrei 2
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Legende
(1) Prismen
(2) Magnetauflagen
Wischen Sie die Magnetauflagen und die
Prismen mit einem fusselfreien Tuch ab.
Reinigen Sie die Oberflächen mit einem
mit Äthylalkohol befeuchteten Reinigungs-
stäbchen.
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Intervall: 2 3-monatlich 2
Arbeitsmittel: 2 keine 2
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Legende
(1) Niederhalter-Pin
Stellen Sie sicher, dass die drei Niederhal-
ter-Pins weder verbogen noch gebrochen
sind.
Wenn die Pins beschädigt sind, muss das
Nadelsystem ausgetauscht werden (siehe
Serviceanleitung). 2
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Ausgabe 08/2011 DE 2.8 Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem (Die-Ejector)
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2.8.6 Lippendichtring an Nadelsystem und Zentriereinheit auf Dichtigkeit prüfen
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Um die Vakuumdichtigkeit zu gewährleisten müssen die Lippendichtringe (1) an Nadelsystem und
Zentriereinheit regelmäßig auf Verschleiß überprüft werden. 2
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Intervall: 2 4-monatlich 2
Arbeitsmittel: 2 keine 2
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Abb. 2.8 - 1 Nadelsystem Abb. 2.8 - 2 Zentriereinheit
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Legende
(1) Dichtungseinheit mit Lippendichtring
(2) Arretierungsbohrung
(3) Arretierungs-Pin
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(4) seitliche Inbusschraube
(5) Befestigungsschrauben Arretierungsring
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Prüfen Sie jeweils den Lippendichtring auf sichtbare Verschleißerscheinungen.
Bei Bedarf muss die Dichtungseinheit getauscht werden.
Lösen Sie dazu die seitliche Inbusschraube, mit der die Dichtungseinheit fixiert ist, leicht.
Um die seitliche Inbusschraube lösen zu können, entfernen Sie den darunterliegenden
pneumatischen Anschluss.
Ziehen Sie die Dichtungseinheit heraus.
Setzen Sie die neue Dichtungseinheit ein und schieben Sie sie bis zum Anschlag nach un-
ten.
Ziehen Sie die seitliche Inbusschraube vorsichtig fest.
HINWEIS
Wenn die seitliche Inbusschraube an der Zentriereinheit schwer zugänglich ist, müssen Sie ggf.
die 4 Befestigungsschrauben (Pos. 5) des Arretierungsrings entfernen und den Ring abnehmen.
Setzen Sie den Arretierungsring wieder ein und befestigen Sie ihn, bevor Sie die seitliche Inbus-
schraube festziehen. 2
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Legende
(1) O-Ring
Fetten Sie den O-Ring mit UNISILCON
L250L (dünner Schmierfilm).
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