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2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2.16 Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Changer Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE 70 2.16 Inst andhaltungsarbeiten am W afer-Cha…
Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung
Ausgabe 08/2011 DE 2.15 Instandhaltungsarbeiten am Vakuumsystem
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2.15.2 Ventile auf Dichtigkeit überprüfen
2
2
Überprüfen Sie die Dichtigkeit der pneumatischen Ventile entsprechend den Herstelleranwei-
sungen.
2.15.3 Membrane der Vakuumpumpe wechseln
Um die Vakuumpumpe zugänglich zu machen, müssen Sie den Magazin-Lift öffnen (siehe
"Magazin-Lift aufschwenken" auf Seite 14) und die Versorgungseinheit herausziehen (siehe
"Versorgungseinheit herausziehen" auf Seite 15).
2
2
Intervall: 2 1-jährlich 2
Arbeitsmittel: 2
Vakuum
Intervall: 2 1-jährlich 2
Arbeitsmittel: 2
Dämpfer
2 2
Legende
(1) Dämpfer
(2) Membrane
Wechseln Sie Membrane der Vakuum-
pumpe entsprechend den Herstelleranwei-
sungen.
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2
2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
2.16 Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Changer Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE
70
2.16 Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Changer
2.16.1 Führungsschiene des Greifers reinigen
HINWEIS
Die Führungsschiene des Greifers ist auf Lebzeit geschmiert und muss daher nur gereinigt
werden. 2
2
2
Intervall: 2 1-monatlich 2
Arbeitsmittel: 2
SIPLACE-Reinigungstuch
2 2
Legende
(1) Greiferschiene
(2) Läufer
Wischen Sie die Greiferschiene mit einem
SIPLACE-Reinigungstuch ab.
1
2
Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung
Ausgabe 08/2011 DE 2.17 Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Tisch
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2.16.2 Läufer auf spiel- und spannungsfreie Einstellung prüfen
2
2
2.17 Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Tisch
2.17.1 Auflageleisten für Wafer-Rahmen reinigen
2
2
Intervall: 2 1-jährlich 2
Arbeitsmittel: 2
keine
2 2
Legende
(1) Läufer
Achten Sie darauf, dass der Läufer spiel-
und spannungsfrei eingestellt ist. Die
Pfeile markieren die kritischen Stellen.
1
Intervall: 2 wöchentlich 2
Arbeitsmittel: 2
Äthylalkohol, fusselfreies Tuch
2 2
Legende
(1) Wafer-Auflagenleiste
Reinigen Sie die Auflageleisten für die Wa-
fer-Rahmen mit einem mit Äthylalkohol be-
feuchteten fusselfreien Tuch.
Achten Sie auf Schürfstellen und Abrieb.
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