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2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2.4 Was Sie bei Instandhaltungsarbeiten grundsätzlich beachten sollt en Ab Softw areversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE 16 2.4.3.5 V ersorg…
Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung
Ausgabe 08/2011 DE 2.4 Was Sie bei Instandhaltungsarbeiten grundsätzlich beachten sollten
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2.4.3.3 Magazin-Lift schließen
Schwenken Sie den Magazin-Lift wieder in seine Ausgangsposition zurück.
Fixieren Sie den Magazin-Lift am SWS mit den beiden zuvor entfernten Schrauben.
Schließen Sie die untere Tür des Magazin-Lifts mit Hilfe des Maschinenschlüssels.
Klappen Sie den Stützfuß des SWS wieder ein, so dass er parallel zum SWS steht (siehe
"Abb. 2.5 - 1" auf Seite 20).
2.4.3.4 Versorgungseinheit herausziehen
Für Instandhaltungsarbeiten an Komponenten, die von vorn und seitlich zugänglich sein müssen,
ist es zusätzlich notwendig, die Versorgungseinheit herauszuziehen.
VORSICHT 2
Achten Sie beim Herausziehen und beim Einschieben des Versorgungseinschubs unbedingt
darauf, dass die elektrische und pneumatische Leitungen nirgendwo hängenbleiben und oder
gar abgerissen werden.
Öffnen Sie den Magazin-Lift (siehe "Magazin-Lift aufschwenken" auf Seite 14).
Entfernen Sie die beiden Schrauben an der Versorgungseinheit.
Ziehen Sie die Versorgungseinheit heraus.
Führen Sie die erforderlichen Instandhaltungsarbeiten aus und schieben Sie die Versor-
gungseinheit wieder ein.
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Legende
(1) Schraube
Lösen Sie die Schraube, mit der der Maga-
zin-Lift am SWS fixiert ist.
An den Stellplätzen 1 und 3 befinden sich
diese Schrauben auf der rechten Seite, an
den Stellplätzen 2 und 4 auf der linken
Seite.
Schwenken Sie den Magazin-Lift zur Seite.
Der Innenraum des SWS ist nun von vorn
her zugänglich.
Führen Sie die erforderlichen Instandhal-
tungsarbeiten aus und schließen Sie den
Magazin-Lift.
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2.4.3.5 Versorgungseinheit einschieben
VORSICHT 2
Achten Sie beim Herausziehen und beim Einschieben des Versorgungseinschubs unbedingt
darauf, dass die elektrische und pneumatische Leitungen nirgendwo hängenbleiben und oder
gar abgerissen werden.
Schieben Sie die Versorgungseinheit ins SWS.
Fixieren Sie die Versorgungseinheit mit den beiden zuvor entfernten Schrauben.
Schließen Sie den Magazin-Lift (siehe "Magazin-Lift schließen" auf Seite 15).
2.4.4 Multipette verwenden
Zum Schmieren der Linearführungen an Flip-Chip-Unit und Die-Attach-Unit wird die Multipette
verwendet.
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2.4.4.1 Multipette zusammenbauen
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Abb. 2.4 - 2 Multipette zusammenbauen
Drücken Sie den Füllhebel der Multipette ganz nach unten und halten Sie ihn fest.
Drücken Sie den blauen Combitip auf die Multipette.
Der Combitip rastet ein.
Die Digitalanzeige zeigt das Volumen an, das mit dem eingesetzten Combitip und der aktu-
ellen Position des Volumenwahlrads dosiert werden würde.
Prüfen Sie, ob der Combitip fest an der Multipette sitzt (1).