00195962-02_MM SWS-DE.pdf - 第76页

2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2.17 Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Tisch Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE 76

100%1 / 78
Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung
Ausgabe 08/2011 DE 2.17 Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Tisch
75
2.17.5 X-/Y- Linearführungen und Spindeln reinigen
HINWEIS
Die X- und Y-Linearführungen sowie die X- und Y-Spindeln am Wafer-Tisch sind auf Lebzeit
geschmiert und müssen daher nur gereinigt werden. 2
2
2
2
Legende
(1) Spindel am Wafer-Tisch
(2) Linearführung am Wafer-Tisch
Wischen Sie die Linearführungen und die Spindeln am Wafer-Tisch über ihre komplette Län-
ge mit einem SIPLACE-Reinigungstuch ab.
Intervall: 2 1-monatlich 2
Arbeitsmittel: 2
SIPLACE-Reinigungstuch
2 2
Abb. 2.17 - 1 X-Linearführung und X-Spindel Abb. 2.17 - 2 Y-Linearführung und Y-Spindel
2 2
1
2
1
2
2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
2.17 Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Tisch Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE
76