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2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2.8 Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem (Die-Eje ctor) Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE 40 2.8.12 Ausstechsystem zentri…
Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung
Ausgabe 08/2011 DE 2.8 Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem (Die-Ejector)
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2.8.11 Anschlagdämpfer am Ausstechsystem auf Funktion überprüfen
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Die Anordnung von Dämpfer und Endanschlag am Ausstechsystem ist für die linken (1 oder 3)
und rechten (2 oder 4) Stellplätze unterschiedlich. 2
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Intervall: 2 jährlich 2
Arbeitsmittel: 2 keine 2
2 2
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Abb. 2.8 - 4 Dämpfer an Stellplatz 1 oder 3 (links)
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Abb. 2.8 - 5 Dämpfer an Stellplatz 2 oder 4 (rechts)
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Legende
(1) Dämpfer
(2) Endanschlag
Drücken Sie den Dämpfer mit dem Daumen herunter. Dabei muss ein spürbarer Widerstand
erkennbar sein.
Lassen Sie den Dämpfer wieder los. Der Dämpfer muss sich einwandfrei in seine Endlage
zurückbewegen.
Bei Bedarf muss der Dämpfer getauscht werden (siehe Serviceanleitung). 2
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2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
2.8 Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem (Die-Ejector) Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE
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2.8.12 Ausstechsystem zentrieren
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VORSICHT
Für diese Überprüfung ist das Bediener-Level Process engineer in der SWS GUI erforderlich.
Sie darf nur von entsprechend geschultem Personal vorgenommen werden. 2
Das SWS muss eingeschaltet sein und die entsprechende Schutzhaube geöffnet werden.
Die Stromversorgung der Portalachsen und der SWS-Achsen wird sofort unterbrochen. Die Por-
talachsen und alle Achsen des SWS bleiben stehen. Am Bildschirm wird eine entsprechende Mel-
dung ausgegeben. Übergehen Sie diese Meldung.
Fahren Sie den Wafertisch in die Wechselposition und den Die Ejector nach oben (siehe "Wa-
fer-Tisch in Wafer-Change-Position fahren" auf Seite 29).
Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Manual Operations auf Live-Bild.
Lösen Sie die in der folgenden Abbildung gezeigten Schrauben (a und b) leicht.
Intervall: 2 bei Bedarf 2
Arbeitsmittel: 2 Inbusschraubenschlüssel 2
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Abb. 2.8 - 6 Ausstechsystem am rechen Stellplatz
Legende
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Richten Sie den Die Ejector mit Hilfe der Justierschrauben entsprechend in X- und Y-Rich-
tung aus.
Zentrieren Sie in der SWS GUI den Die Ejector anhand des Fadenkreuzes.
Fixieren Sie den Die Ejector mit den zuvor entfernten Schrauben, wenn er korrekt zentriert
ist. Achten Sie beim Anziehen der Schrauben darauf, dass er in der zentrierten Position ver-
bleibt.
HINWEIS
Sie können ein exakteres Ergebnis erzielen, indem Sie etwas Teflonband auf die Vakuumkappe
legen und die Nadel in Ausstechposition fahren. Dann können Sie den Die Ejector anhand der
Nadel zentrieren. 2
a
a
a
b
b
d
a
c
a) 4 Schrauben für X-Richtung b) 2 Schrauben für Y-Richtung
c) Justierschraube für X-Richtung d) Justierschraube für Y-Richtung