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Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung Ausgabe 08/2011 DE 2.9 Instandhaltungsarbeiten an der Die-Attach-Unit 47 2.9.6 Die-Att ach-Kop f au f Leichtgängigkeit prüfen 2 2 2.9.7 V akuum…
2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
2.9 Instandhaltungsarbeiten an der Die-Attach-Unit Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE
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Fahren Sie die Z-Achse ca. 5 mal von Hand ein und aus.
Lassen Sie die Z-Achse in der unteren Position stehen.
Bringen Sie nochmals 4µl Schmiermittel auf die innere Laufbahn des Wagens.
Fahren Sie die Z-Achse ca. 5 mal von Hand ein und aus.
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VORSICHT
Gehen Sie beim Schmieren der Linearführung besonders sorgfältig vor.
Es darf kein Schmiermittel auf die Lese-Einheit gelangen. 2
Linearführung der Rückholeinheit schmieren
Bringen Sie 4µl Schmiermittel auf die Schmierstelle auf.
Fahren Sie die Linearführung ca. 5 mal von Hand hin und her.
Bringen Sie nochmals 4µl Schmiermittel auf.
Fahren Sie die Linearführung nochmals ca. 5 mal von Hand hin und her.
2.9.5 Rückholeinheit schmieren und auf Leichtgängigkeit prüfen
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Intervall: 2 4-monatlich 2
Arbeitsmittel: 2
Sprühfett (Aerosol)
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Legende
(1 - 3)Schmierstellen an der Mechanik der
Rückholeinheit
Schmieren Sie die Mechanik an den ge-
zeigten Stellen (Pos. 1 - 3). Nehmen Sie
ggf. ein Reinigungsstäbchen zur Hilfe, um
das Sprühfett gezielt aufzutragen.
Ziehen Sie die Mechanik der Rückholein-
heit von Hand nach hinten.
Sie muss leichtgängig bewegbar sein.
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Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung
Ausgabe 08/2011 DE 2.9 Instandhaltungsarbeiten an der Die-Attach-Unit
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2.9.6 Die-Attach-Kopf auf Leichtgängigkeit prüfen
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2.9.7 Vakuumteil auf Dichtigkeit prüfen
2
2
2
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Intervall: 2 jährlich 2
Arbeitsmittel: 2
keine
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Legende
(1) Die-Attach-Kopf
Drehen Sie den Die-Attach-Kopf von Hand
hin und her.
Er muss leichtgängig drehbar sein und darf
nicht haken.
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Intervall: 2 jährlich 2
Arbeitsmittel: 2
Vakuum
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Legende
(1) Saugteller am Die-Attach-Kopf
(2) Vakuumanschluss
Schalten Sie das Vakuum ein und prüfen
Sie den Vakuumanschluss auf Dichtigkeit.
Achten Sie dabei auf Blasgeräusche.
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2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
2.10 Instandhaltungsarbeiten an den elastische Kupplungen der Spindelantriebe Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011
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2.10 Instandhaltungsarbeiten an den elastische Kupp-
lungen der Spindelantriebe
Die elastischen Kupplungen der Spindelantriebe müssen regelmäßig auf Verschleiß und korrekte
Funktion überprüft werden. 2
2.10.1 Kupplungen am Wafertisch prüfen
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Am Wafer-Tisch befinden sich eine X- und eine Y-Kupplung. 2
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Intervall: 2 6-monatlich 2
Arbeitsmittel: 2
Inbusschlüssel 2,5
2 2
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Abb. 2.10 - 1 X-Kupplung am Wafer-Tisch
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Abb. 2.10 - 2 Y-Kupplung am Wafer-Tisch
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Legende
(1) Befestigungsschraube
(2) Faltenbalg
Prüfen Sie alle Befestigungsschrauben auf festen Sitz und ziehen Sie diese wenn nötig
nach.
Drehen Sie die Spindeln und achten Sie dabei auf knackende Geräusche, die Hinweis auf
einen Defekt der Kupplung geben.
Prüfen Sie die Faltenbälge auf Riss-Spuren (leuchten Sie die Kupplung ggf. mit einer Ta-
schenlampe aus, da Risse meistens auf der Innenseite entstehen).
Tauschen Sie bei Beschädigung die entsprechende Kupplung aus (siehe Serviceanleitung).
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