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2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2.9 Instandhaltungsarbeiten an der Die-Attach-Uni t Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE 42 2.9 Inst andhaltungsarbeiten an der D…
Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung
Ausgabe 08/2011 DE 2.8 Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem (Die-Ejector)
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Abb. 2.8 - 6 Ausstechsystem am rechen Stellplatz
Legende
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Richten Sie den Die Ejector mit Hilfe der Justierschrauben entsprechend in X- und Y-Rich-
tung aus.
Zentrieren Sie in der SWS GUI den Die Ejector anhand des Fadenkreuzes.
Fixieren Sie den Die Ejector mit den zuvor entfernten Schrauben, wenn er korrekt zentriert
ist. Achten Sie beim Anziehen der Schrauben darauf, dass er in der zentrierten Position ver-
bleibt.
HINWEIS
Sie können ein exakteres Ergebnis erzielen, indem Sie etwas Teflonband auf die Vakuumkappe
legen und die Nadel in Ausstechposition fahren. Dann können Sie den Die Ejector anhand der
Nadel zentrieren. 2
a
a
a
b
b
d
a
c
a) 4 Schrauben für X-Richtung b) 2 Schrauben für Y-Richtung
c) Justierschraube für X-Richtung d) Justierschraube für Y-Richtung
2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
2.9 Instandhaltungsarbeiten an der Die-Attach-Unit Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE
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2.9 Instandhaltungsarbeiten an der Die-Attach-Unit
Um die Die-Attach-Unit zugänglich zu machen, müssen Sie zunächst die EMV-Abdeckung abneh-
men. Setzen Sie die Abdeckung nach Abschluss der Arbeiten wieder auf und fixieren Sie diese.
Warnung vor magnetischem Feld
Die Die-Attach-Unit enthält einen starken Magneten. Achten Sie darauf, dass keine metallischen
Gegenstände in den Bereich der Die-Attach-Unit gelangen, da diese vom Magneten angezogen
werden. 2
2.9.1 Mitnehmer reinigen und auf Leichtgängigkeit prüfen
2
2
Der Mitnehmer an der Die-Attach-Unit muss regelmäßig gereinigt werden, um die einwandfreie
Übergabe zwischen Flip-Unit und Die-Attach-Unit zu gewährleisten. 2
2
Intervall: 2 wöchentlich 2
Arbeitsmittel: 2 Äthylalkohol, Reinigungsstäbchen, fusselfrei 2
2 2
2 2
Abb. 2.9 - 1 Mitnehmer ohne Übergabe der Flip-Unit Abb. 2.9 - 2 Mitnehmer mit Übergabe der Flip-Unit
2
Legende
(1) Kulisse (2) Mitnehmer
(3) Segment 1 der Flip-Unit (4) Rollenstößel
Ziehen Sie die Kulisse (1) an der Die-Attach-Unit mit einer Hand vorsichtig zurück, bis der
Mitnehmer (2) zugänglich ist.
Reinigen Sie den Mitnehmer mit einem mit Äthylalkohol befeuchteten Reinigungsstäbchen.
Lassen Sie die Kulisse wieder los.
Bewegen Sie die Kulisse ein paar Mal hin und her. Wiederholen Sie dies mit dem Segment
1 der Flip-Unit in der Übergabeposition. Die Kulisse sollte leicht bewegbar sein.
Kontrollieren Sie den Rollenstößel auf Sauberkeit.
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Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung
Ausgabe 08/2011 DE 2.9 Instandhaltungsarbeiten an der Die-Attach-Unit
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2.9.2 Pipettenbefestigung auf Dichtigkeit prüfen
2
VORSICHT
Für diese Überprüfung ist das Bediener-Level Service in der SWS GUI erforderlich. Sie darf nur
von entsprechend geschultem Personal vorgenommen werden. 2
Das SWS muss eingeschaltet sein und die entsprechende Schutzhaube geöffnet werden. 2
Die Stromversorgung der Portalachsen und der SWS-Achsen wird sofort unterbrochen. Die Por-
talachsen und alle Achsen des SWS bleiben stehen. Am Bildschirm wird eine entsprechende Mel-
dung ausgegeben. Übergehen Sie diese Meldung. 2
Wechseln Sie in die Ansicht Service -> USB outputs und schalten Sie alle Vakuum-Ver-
braucher aus.
Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Service -> USB IOs -> Registerkarte USB Pro-
grams.
Schalten Sie mit dem Button Main Vacuum Pump on das Vakuum ein und lesen Sie den
Wert unter Main Vacuum [mbar] ab.
Der Wert sollte ca. 700 mbar betragen, wenn alle Vakuum-Verbraucher ausgeschaltet sind.
Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Service -> USB IOs -> Registerkarte USB Out-
puts.
Schalten Sie mit dem Button D06 vacuum die attach tool das Vakuum ein.
Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Service -> USB IOs -> Registerkarte USB Pro-
grams.
Halten Sie die Pipette oben zu.
Eine Ansaugkraft muss spürbar sein. Der Wert unter Main Vacuum [mbar] sollte annähernd
den zuerst abgelesenen erreichen, d. h., keine Verluste aufweisen.
Intervall: 2 3-monatlich 2
Arbeitsmittel: 2 Vakuum 2