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Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System 2 Alles für die Instandhaltung Ausgabe 08/2011 DE 2.17 Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Tisch 73 2.17.3 O-Ringe an der W afer-Aufnahme auf Dichtigkeit prüfen Die O-Ringe unte…
2 Alles für die Instandhaltung Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System
2.17 Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Tisch Ab Softwareversion SR.604 CA.xx Ausgabe 08/2011 DE
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2.17.2 Einschraubzylinder an der Wafer-Aufnahme prüfen
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Für diese Überprüfung muss das SWS eingeschaltet sein und die entsprechende Schutzhaube
geöffnet werden. In der SWS GUI ist das Bediener-Level Service erforderlich.
Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Service -> Galil Outputs und schalten Sie mit
dem Button D009 ZylinderWaferClampinTablePos die Wafer-Klemmung ein.
Die 4 Einschraubzylinder an der Wafer-Aufnahme fahren nach oben.
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Intervall: 2 6-monatlich 2
Arbeitsmittel: 2
SWS GUI
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Legende
(1) Pneumatischer Einschraubzylinder
Prüfen Sie, ob die 2 Einschraubzylinder an
den Wafer-Auflageleisten und 2 an der
Wafer-Arretierungsleiste gerade sind und
senkrecht und leicht gängig nach oben fah-
ren.
Bei Beschädigung müssen sie ausge-
tauscht werden (siehe Serviceanleitung).
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Ausgabe 08/2011 DE 2.17 Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Tisch
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2.17.3 O-Ringe an der Wafer-Aufnahme auf Dichtigkeit prüfen
Die O-Ringe unterhalb der Wafer-Arretierungsleiste sollten bei Bedarf, z. B. bei gehäufter Produk-
tumstellung, auf Undichtigkeit geprüft werden. 2
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Intervall: 2 bei Bedarf 2
Arbeitsmittel: 2
ggf. neue O-Ringe und UNISILIKON L250
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Legende
(1) Befestigungsmutter der Wafer-Arretierungsleiste
(2) O-Ring
Lösen Sie die Befestigungsmutter (1) der Wafer-Arretierungsleiste und heben Sie die Wa-
fer-Arretierungsleiste ab.
Nehmen Sie die beiden O-Ringe heraus und prüfen Sie diese auf Beschädigung oder Ver-
schleiß.
Bei Bedarf müssen die O-Ringe getauscht und nach dem Einsetzen mit UNISILIKON L250
gefettet werden (siehe Serviceanleitung).
Setzen Sie die O-Ringe wieder ein.
Setzen Sie die Wafer-Arretierungsleiste wieder auf und schrauben Sie diese fest.
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2.17.4 Optische Sensoren reinigen
VORSICHT
Verwenden Sie auf keinen Fall ein Lösungsmittel zum Reinigen der Sensoren, um eine Beschä-
digung der Kunststoffoberfläche zu vermeiden. 2
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Legende
(1) Optischer Sensor
Reinigen Sie die Sensoren mit einem optischen Tuch.
Intervall: 2 monatlich 2
Arbeitsmittel: 2
optisches Tuch
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