FX-1R-FX-1动作说明书.pdf - 第101页
Ｒｅｖ．2 . 0 0 动作说明书 5-19 5-2 ． 马达的控制方式 5-2-1 ． XY 轴的控制方式 FX-1 中，对 X 、 YB 轴采用全闭环方式的控制，对 YA 轴采用半闭环方式。 FX-1R 中，对 X 、 YB 、 YA 所有的轴均采用全闭环方式的控制。 下图为各轴方式的方块图。 ① X 轴 エンコー ダ入力 Ｉ／Ｆ ユニッ ト モータ駆動電流 U、V、W 相 リニアモ ータ スケールヘッド 可動子 リニアモ ータ 固…
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动作说明书
5-18
5-1-11
．IP-X3 基板
本基板是处理
OCC 摄像机拍摄的基板标记、IC 标记、IC 芯片等图像数据，计算基板的位置修正、元件位
置修正需要的数值的图像基板。下图是基板方块图。
录像存储器
A
棱椎
棱椎
录像存储器
B
图像处理
装置
标样存储器
棱椎
覆盖
存储器
图像数据
选择器
图像
输出入
装置
从摄像机来
接图像
传感器
收装演算结果
I/F存储器
Flash存储器
IP-X3 基板方块图
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动作说明书
5-19
5-2．马达的控制方式
5-2-1．XY轴的控制方式
FX-1 中，对 X、YB 轴采用全闭环方式的控制，对 YA 轴采用半闭环方式。
FX-1R 中，对 X、YB、YA 所有的轴均采用全闭环方式的控制。
下图为各轴方式的方块图。
① X 轴
エンコーダ入力
Ｉ／Ｆユニット
モータ駆動電流
U、V、W 相
リニアモータ
スケールヘッド
可動子
リニアモータ
固定子
マグネスケール
信号
位置フィード
バック信号
リニアエンコーダ信号
（マグネスケール）
ポジションボード ＹＢ軸 ドライバ
SSCNETⅡ
位置制御
位置接口板
位置控制
信号
YB轴驱动器
线性变换器信号
(磁标尺)
马达驱动电流
线性马达
转子
线性马达
定子
标尺头
磁标尺
位置供料
反馈信号
变换器输入
I/F装置
图５－２－１
X 轴的全交叉减弱方式
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动作说明书
5-20
② YB 轴
エンコーダ入力
Ｉ／Ｆユニット
ﾓｰﾀ駆動電流
U、V、W 相
スケールヘッド
ステージ
ベルト マグネスケール
リニアエンコーダ信号
（マグネスケール）
ロータリーエンコーダ信号
サーボモータ
位置制御
信号
位置フィード
バック信号
ポジションボード ＹＢ軸 ドライバ
SSCNETⅡ
位置接口板
位置控制
信号
YB轴驱动器
位置供料
反馈信号
线性变换器信号
(磁标尺)
旋转变换器信号
伺服马达
变换器输入
I/F装置
马达驱动电流
台
标尺头
皮带
磁标尺
图５－２－２
YB 轴全交叉减弱方式
③ YA 轴 (FX-1)
ﾓｰﾀ駆動電流
U、V、W 相
ボールネジ
ポジションボード ＹＡ軸 ドライバ
SSCNETⅡ
位置制御
ロータリーエンコーダ信号
ステージサーボモータ
信号
位置接口板
位置控制
信号
YA轴驱动器
伺服马达
旋转变换器信号
马达驱动电流
台
球螺丝
图５－２－３
YA 轴的半交叉减弱方式