FX-1R-FX-1动作说明书.pdf - 第12页
Ｒｅｖ 2.00 动作说明书 2-5 2-4 ． Z 、 θ 轴 MNLA 贴装头 Z 马达向C W 方向转动，Z 轴向+ 方向 移动 0 . 00 12 5 m m / p l s Z 马达皮带轮 30齿 同步皮带Z 1.5GT-121 齿 球螺丝 Φ6 X 引脚6 Z 皮带轮 30齿 直线导向器 轨道宽度8 Θ 皮带轮 36齿 球弹簧 θ马达向C W 方向转动，θ轴+ 方向转动 0.045° /pls Θ马达1 0 W 2000pp…
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2-3．X轴
X 轴因为是线性马达，所以仅用线性变换器进行全闭合控制。
FX-1 的线性编码器（磁性膜）的分辨率为 5μm
FX-1R 的线性编码器（磁性膜）的分辨率为 2μm
（ XL 马达也一样 ）
变换器断线的检测
线性变换器(磁标尺)发生断线后，在 6μｓ以内用磁标尺监测器检测警报。警报发生之后，伺服驱动器让
动态制动器动作，制动马达。
控制异常的检测
指令值和标尺值的位置偏差量在 50mm 以上时，或两者的速度偏差量在 1,000mm/s 以上时，伺服驱动
器让动态制动器动作，制动马达。
图２－３
XR 马达
从装置正面看
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2-4．Z、θ轴
MNLA 贴装头
Z马达向CW方向转动，Z轴向+方向移动 0.00125mm/pls
Z马达皮带轮
30齿
同步皮带Z
1.5GT-121齿 球螺丝
Φ6X引脚6
Z皮带轮
30齿
直线导向器
轨道宽度8
Θ 皮带轮
36齿
球弹簧
θ马达向CW方向转动，θ轴+方向转动
0.045°/pls
Θ马达10W
2000ppr 4倍
36齿
θ马达皮带轮
1.5GT-104齿
同步皮带θ
1200ppr 4倍
Z马达 30W
Z原点传感器
Z轴在XY移动高度时ON
图 ２－４
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2-4-1．Z轴
Z 轴 移动量设定为 6mm／r （飞轮比 1：1 ）
Z马达变换器设定为
8,192 P／r
电子齿轮 分子设定为 80H （128），分母设定为 4BH(75)之后，
平均 1 脉冲的移动量为（6×128）／（8,192×75）＝ 0.00125mm／pulse。
（ 用马达端部附属的旋转型变换器控制半闭合 ）
2-4-2．θ轴
θ马达变换器设定为 8,192P／r
电子齿轮 分子设定为 400H （1,024），分母设定为 708H （1,800）之后，
平均 1 脉冲的移动量为（360×1,024）／（8,192×1,800）＝ 0.025deg／pulse。
（ 用马达端部附属的旋转型变换器控制半闭合 ）