FX-1R-FX-1动作说明书.pdf - 第28页
Rev.2.00 動作説明書 3-15 3-3-3 ．基板传送时间曲线图
Ｒｅｖ 2.00
动作说明书
3-14
3-3-2．支撑台
支撑台、机械行程以及有效行程
基板上面高さ
0.5mm
5mm
有効ストローク 52.5mm
MS パラメータ入力
２ mm
7mm
40mm(最大)
最大基板下制限
メカストローク 59mm
④原点高さ位置
Ｂ(原点センサ ON 方向)
Ａ(原点センサ OFF 方向)
エンコーダ零相検出
③ソフト下方向リミット位置
①メカ下方向リミット位置
②メカ上方向リミット位置
基板上面高度
机械上方向限制位置
机械下方向限制位置
软件下方向限制位置
变换器零相检测
原点高度位置
B(原点传感器ON方向)
A(原点传感器OFF方向)
机械行程59mm
有 效行 程 52 .5m m
输入MS参数
最大基板下限制
(最大)
①：下方向的机械界限高度
②：上方向的机械界限高度
③：是有效行程下限位置，基板送入、排出时的待机位置。
有效行程上限位置是从③的高度上升 52.5mm 的位置，与②高度相同。
有效行程∶生产中可以驱动的行程范围
（注）基板下限制可以在从 5mm 起 40mm 的范围，以１ mm 单位进行设定。
默认的基板下限制为 40 ｍｍ。
（注）③的有效行程下限高度，根据基板下限而变化。
因此，有效行程也按下式变化。
有效行程(mm) ＝基板下限(mm)＋5＋7＋0.5
基板送入·送出时的待机高度也同样变化。
以有效行程上限为基准高度
待机高度(mm)＝基板下限(mm)＋5＋7
Rev.2.00
動作説明書
3-15
3-3-3．基板传送时间曲线图
Ｒｅｖ．2 . 0 0
动作说明书
3-16
3-3-4．传送异常错误
异常种类 内容
IN 缓冲异常 1) IN 马达 ON 后，IN 传感器 3 秒以上 ON。
2）IN 马达转动时，IN 传感器和 WAIT 传感器同时变为 ON。
3) IN 传感器 ON，从 IN 马达开始转动起 6 秒钟之后，WAIT 传感器也不 ON。
（有关时间，由机械控制参数决定）
4) 从 IN 缓冲向入口侧中心站过度经 6 秒之后也不结束。
（有关时间，由机械控制参数决定）
入口侧中心站异常 1) 入口侧中心马达连续转动 6 秒钟以上。
2) 入口侧 C･OUT 传感器 ON，入口侧 STOP 传感器 OFF->ON。
3) 从入口侧中心站向出口侧中心站过度经 6 秒之后也不结束。
（有关时间，由机械控制参数决定）
ＯＵＴ缓冲异常 1) OUT 马达连续 6 秒钟以上连续转动。
2) 出口侧 C･OUT 传感器和 OUT 传感器通知变为 ON。
3) 从 ReadyIN（ON）信号检测向后续工程过度经 6 秒之后也不结束。
（有关时间，由机械控制参数决定）
后备异常 1) 后备马达上升结束时，T･PIN 传感器 ON（孔基准时）。
其他 1) 中心马达动作异常(由 XMP 决定)
2) 后备马达动作异常（由 XMP 决定）