FX-1R-FX-1动作说明书.pdf - 第11页
Ｒｅｖ 2.00 动作说明书 2-4 2-3 ． X 轴 X 轴因为是线性马达，所以仅用线性变换器进行全闭合控制。 FX-1 的线性编码器（磁性膜）的分辨率为 5 μ m FX-1R 的线性编码器（磁性膜）的分辨率为 2 μ m （ XL 马达也一样 ） 变换器断线的检测 线性变换器 ( 磁标尺 ) 发生断线后， 在 6 μｓ 以内用磁标尺监测器检测警报。 警报发生之后， 伺服驱动器让 动态制动器动作，制动马达。 控制异常的检测 指令值…
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2-2．Y-TBL 轴 （以下记载为YA轴）
・球螺丝引线 FX-1: 20mm (马达平均 1 圈的移动量)
FX-1R: 30mm (马达平均 1 圈的移动量)
马达变换器(转动型变换器)的分辨率为
131,072 pls (马达变换器分辨率)
因此，平均 1 脉冲的移动量为
FX-1: 20mm／131,072 pls＝0.15μm／pls
FX-1R: 30mm／131,072 pls＝0.228μm／pls
（FX-1 是以电动机端部附属的旋转型编码器进行的半闭环控制）
（FX-1R 是利用线性标度的闭环控制）
变换器断线的检测
• 线性编码器（磁性膜）发生断线后，在 6μs 以内由磁性膜探测器检测出警报。一发生警报，伺服驱
动器即启动动态制动器，对电动机进行制动，使之停止。
• 旋转型变换器发生断线后，在约 3.5ms 后，用磁标尺监测器检测警报。警报发生之后，伺服驱动器
让动态制动器动作，制动马达。
马达输出 750W 图２－２
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2-3．X轴
X 轴因为是线性马达，所以仅用线性变换器进行全闭合控制。
FX-1 的线性编码器（磁性膜）的分辨率为 5μm
FX-1R 的线性编码器（磁性膜）的分辨率为 2μm
（ XL 马达也一样 ）
变换器断线的检测
线性变换器(磁标尺)发生断线后，在 6μｓ以内用磁标尺监测器检测警报。警报发生之后，伺服驱动器让
动态制动器动作，制动马达。
控制异常的检测
指令值和标尺值的位置偏差量在 50mm 以上时，或两者的速度偏差量在 1,000mm/s 以上时，伺服驱动
器让动态制动器动作，制动马达。
图２－３
XR 马达
从装置正面看
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2-4．Z、θ轴
MNLA 贴装头
Z马达向CW方向转动，Z轴向+方向移动 0.00125mm/pls
Z马达皮带轮
30齿
同步皮带Z
1.5GT-121齿 球螺丝
Φ6X引脚6
Z皮带轮
30齿
直线导向器
轨道宽度8
Θ 皮带轮
36齿
球弹簧
θ马达向CW方向转动，θ轴+方向转动
0.045°/pls
Θ马达10W
2000ppr 4倍
36齿
θ马达皮带轮
1.5GT-104齿
同步皮带θ
1200ppr 4倍
Z马达 30W
Z原点传感器
Z轴在XY移动高度时ON
图 ２－４