FX-1R-FX-1动作说明书.pdf - 第75页
Ｒｅｖ．2 . 0 0 动作说明书 3-62 （ Ｍ １ → Ｐ ） ＝ Ｂ （ Ｍ １ → Ｍ ３ ） ＋ Ａ （ Ｍ １ → Ｍ ２ ） ⑤ （ Ｍ １ ’ → Ｐ ’ ） ＝ Ｂ （ Ｍ １ ’ → Ｍ ３ ’ ） ＋ Ａ （ Ｍ １ ’ → Ｍ ２ ’ ） ⑥ ⑤ ⑥ 式中， Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３、Ｐ、Ｍ１’、Ｍ２’、Ｍ３’、Ｐ’ 为原点的直交坐标上的位置显示分别作为 （ｘ１、ｙ１）、（ｘ２、ｙ２）、（ｘ３、ｙ３）、（ｘ１’、ｙ １…
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动作说明书
3-61
3-11-3．指定标记的修正方法
3 点的 BOC 标识时（区域指定标记也一样）
上图的○显示的点Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３是基板数据种的 BOC 标记坐标，经各个点的识别求得得实际坐标为●显
示的Ｍ１’
、
Ｍ２’、Ｍ３’时，计算对应贴装数据上的贴装坐标Ｐ点（□）的实际贴装坐标Ｐ’点（■）。
此时，基板也同样地移动、变形的话，让通过Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３的 3 点内的 2 点的直线内的 2 条作为坐标轴的
斜交坐标系上的 P 点的坐标值相等，求对应Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３的Ｍ１’、Ｍ２’、Ｍ３’的同样的斜交坐标系上的Ｐ’
点的Ｏ为原点的直交坐标上的坐标。
此时，从Ｐ向斜交坐标轴平行地引的直线和连接Ｍ１、Ｍ２的直线，连接Ｐ１２、Ｍ１、Ｍ３的直线的焦点作为Ｐ
１３，Ｐ’也同样连接Ｍ１’、Ｍ２’的直线、连接Ｍ１’、Ｍ３’的直线的焦点分别作为Ｐ１２’、Ｐ１３’。
（Ｍ１→Ｐ）＝（Ｍ１→Ｐ１３）＋（Ｍ１→Ｐ１２） ①
（Ｍ１’→Ｐ’）＝（Ｍ１’→Ｐ１３’）＋（Ｍ１’→Ｐ１２’） ②
即成立以上的关系。
再根据Ｐ’的定义
｜Ｍ１→Ｐ１２｜/｜Ｍ１→Ｍ２｜ ＝｜Ｍ１’→Ｐ１２’｜/｜Ｍ１’→Ｍ２’｜ ③
｜Ｍ１→Ｐ１３｜/｜Ｍ１→Ｍ３｜ ＝｜Ｍ１’→Ｐ１３’｜/｜Ｍ１’→Ｍ３’｜ ④
则成立以上的关系。
这里，把③式的值作为Ａ，把④式的值作为Ｂ的式子①②可以表示以下的事情。
图３－１１－３
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动作说明书
3-62
（Ｍ１→Ｐ）＝Ｂ（Ｍ１→Ｍ３）＋Ａ（Ｍ１→Ｍ２） ⑤
（Ｍ１’→Ｐ’）＝Ｂ（Ｍ１’→Ｍ３’）＋Ａ（Ｍ１’→Ｍ２’） ⑥
⑤⑥式中，Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３、Ｐ、Ｍ１’、Ｍ２’、Ｍ３’、Ｐ’为原点的直交坐标上的位置显示分别作为
（ｘ１、ｙ１）、（ｘ２、ｙ２）、（ｘ３、ｙ３）、（ｘ１’、ｙ１’）、（ｘ２’、ｙ２’）、（ｘ３’、ｙ３’）、（Ｘ、Ｙ）的话，则为
（ｘｐ、ｙｐ）－（ｘ１、ｙ１）＝Ｂ{（ｘ３、ｙ３）－（ｘ１、ｙ１）}＋Ａ{（ｘ２、ｙ２）－（ｘ１、ｙ１）}
（Ｘ、Ｙ）－（ｘ１’、ｙ１’）＝Ｂ{（ｘ３’、ｙ３’）－（ｘ１’、ｙ１’）}＋Ａ{（ｘ２’、ｙ２’）－（ｘ１’、ｙ１’）}。
将此分解到 X 轴 Y 轴的各式中之后，计算
ｘｐ－ｘ１＝Ｂ（ｘ３－ｘ１）＋Ａ（ｘ２－ｘ１） ⑦
ｙｐ－ｙ１＝Ｂ（ｙ３－ｙ１）＋Ａ（ｙ２－ｙ１） ⑧
Ｘ－ｘ１’＝Ｂ（ｘ３’－ｘ１’）＋Ａ（ｘ２’－ｘ１’） ⑨
Ｙ－ｙ１’＝Ｂ（ｙ３’－ｙ１’）＋Ａ（ｙ２’－ｙ１’） ⑩
的 4 元联立方程式。此时，Ａ，Ｂ，Ｘ，Ｙ以外是已知数值，通过解此 4 元联立方程，可以求得以Ｐ’的Ｏ为园
地按的位置指定（Ｘ，Ｙ）。
此时，从⑦⑧计算
Ａ＝{ｘｐ－ｘ１－Ｂ（ｘ３－ｘ１）}／（ｘ２－ｘ１）＝{ｙｐ－ｙ１－Ｂ（ｙ３－ｙ１）}／（ｙ２－ｙ１） ⑪
Ｂ＝{ｘｐ－ｘ１－Ａ（ｘ２－ｘ１）}／（ｘ３－ｘ１）＝{ｙｐ－ｙ１－Ａ（ｙ２－ｙ１）}／（ｙ３－ｙ１） ⑫
式⑪⑫分别为Ｂ，则Ａ解为
Ｂ＝{（ｙｐ－ｙ１）(ｘ２－ｘ１)－(ｘｐ－ｘ１)(ｙ２－ｙ１)}／{（ｙ３－ｙ１）(ｘ２－ｘ１)－(ｘ３－ｘ１)(ｙ２－ｙ１)} ⑬
Ａ＝{（ｙｐ－ｙ１）(ｘ３－ｘ１)－(ｘｐ－ｘ１)(ｙ３－ｙ１)}／{（ｙ２－ｙ１）(ｘ３－ｘ１)－(ｘ２－ｘ１)(ｙ３－ｙ１)} ⑭。
把此结果求得的Ａ，Ｂ代入⑨⑩，就可以方便地计算出。
另外，式⑬⑭中分母为０时，Ａ，Ｂ为无限大，不能进行计算。此时哪个式子都可以成为
（ｙ３－ｙ１）(ｘ２－ｘ１)＝(ｘ３－ｘ１)(ｙ２－ｙ１)。
用(ｘ２－ｘ１)(ｘ３－ｘ１)除两边之后，得出
（ｙ３－ｙ１）／(ｘ３－ｘ１)＝(ｙ２－ｙ１)／(ｘ２－ｘ１)
则Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３在 1 直线上。
此时，ＢＯＣ标记的 3 点无意义，所以为数据异常。
角度修正值θ作为指定（Ｍ
１→Ｐ
）和（Ｍ’→Ｐ’）的角，经计算可以得出
θ＝ａｔａｎ{（Ｘ’－ｘ１’）／（Ｙ’－ｙ１’）}－ ａｔａｎ{（ｘｐ－ｘ１）／（ｙｐ－ｙ１）}。
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动作说明书
3-63
2 点的 BOC 标记时（与区域指定标记相同）
如上图所示，2 点的 BOC 标记的理论坐标为Ｍ１、Ｍ２，各标记检测的坐标为Ｍ１’、Ｍ２’。
此时，把Ｍ１点设为中心，把Ｍ２点转动９０°后的坐标作为Ｍｖ，在Ｍ１’点为中心，把Ｍ２点转动９０°后
的坐标作为Ｍｖ’。把Ｍｖ、Ｍｖ’分别作为设想的第 3 点的 BOC 标记的理论坐标、物理坐标，与Ｍ１，Ｍ２，Ｍ
１’、Ｍ２’一起把第 3 点作为 BOC 标记时同样，用Ｐ点的坐标计算出Ｐ’点坐标，进行坐标修正。
图３－１１－４