FX-1R-FX-1动作说明书.pdf - 第102页
Ｒｅｖ．2 . 0 0 动作说明书 5-20 ② YB 轴 エンコ ーダ入力 Ｉ／Ｆユニット ﾓｰﾀ駆動電流 U、V、W 相 スケールヘッド ステージ ベルト マグネスケ ール リニアエンコーダ信号 （マグネスケール） ロータリーエンコーダ信号 サーボモータ 位置制御 信号 位置フィード バック信 号 ポジション ボード ＹＢ軸 ドライバ SSCNET Ⅱ 位置接口板 位置控制 信号 YB轴 驱 动 器 位置供料 反馈信号 线性变换器信…
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动作说明书
5-19
5-2．马达的控制方式
5-2-1．XY轴的控制方式
FX-1 中，对 X、YB 轴采用全闭环方式的控制，对 YA 轴采用半闭环方式。
FX-1R 中，对 X、YB、YA 所有的轴均采用全闭环方式的控制。
下图为各轴方式的方块图。
① X 轴
エンコーダ入力
Ｉ／Ｆユニット
モータ駆動電流
U、V、W 相
リニアモータ
スケールヘッド
可動子
リニアモータ
固定子
マグネスケール
信号
位置フィード
バック信号
リニアエンコーダ信号
（マグネスケール）
ポジションボード ＹＢ軸 ドライバ
SSCNETⅡ
位置制御
位置接口板
位置控制
信号
YB轴驱动器
线性变换器信号
(磁标尺)
马达驱动电流
线性马达
转子
线性马达
定子
标尺头
磁标尺
位置供料
反馈信号
变换器输入
I/F装置
图５－２－１
X 轴的全交叉减弱方式
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动作说明书
5-20
② YB 轴
エンコーダ入力
Ｉ／Ｆユニット
ﾓｰﾀ駆動電流
U、V、W 相
スケールヘッド
ステージ
ベルト マグネスケール
リニアエンコーダ信号
（マグネスケール）
ロータリーエンコーダ信号
サーボモータ
位置制御
信号
位置フィード
バック信号
ポジションボード ＹＢ軸 ドライバ
SSCNETⅡ
位置接口板
位置控制
信号
YB轴驱动器
位置供料
反馈信号
线性变换器信号
(磁标尺)
旋转变换器信号
伺服马达
变换器输入
I/F装置
马达驱动电流
台
标尺头
皮带
磁标尺
图５－２－２
YB 轴全交叉减弱方式
③ YA 轴 (FX-1)
ﾓｰﾀ駆動電流
U、V、W 相
ボールネジ
ポジションボード ＹＡ軸 ドライバ
SSCNETⅡ
位置制御
ロータリーエンコーダ信号
ステージサーボモータ
信号
位置接口板
位置控制
信号
YA轴驱动器
伺服马达
旋转变换器信号
马达驱动电流
台
球螺丝
图５－２－３
YA 轴的半交叉减弱方式
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动作说明书
5-21
④ YA 轴 (FX-1R)
图５－２－４ YA 轴全交叉减弱方式
位置接口板 变换器输入
I/F装置
YA轴驱动器
旋转变换器信
线性变换器信号
(磁标尺)
位置供料
反馈信号
SSCNETⅡ
位置控制
信号
球螺丝
台
伺服马达
流
U、V、W相
标尺头
磁标尺