FX-1R-FX-1动作说明书.pdf - 第89页
Ｒｅｖ．2 . 0 0 动作说明书 5-7 ３． 构成图 ＭＰＵ ６８０００ ＲＯＭ ２５６Ｋ ＦＬＡＳＨ Ｍｅｍｏｒｙ ２５６Ｋ Ｌｏｃａｌ Ｂｕｓ ＭＴＣ Ｉ／Ｆ ＦＥＥＤＥＲ Ｉ／Ｆ ＭＴＣ ＴＲ －＊ ＦＥＥＤＥＲ Ｆｒｏｎｔ ４０ Ｒｅａｒ ４０ ＲＥＡＤＹ／ＢＵＳＹ Ｄｕａｌ Ｐｏｒｔ ＲＡＭ ２５６Ｋ Ｓｌａｖｅ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ ＩＲＱ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ ＶＭＥ－Ｂｕｓ ＳＩＧＮＡＬ ＬＩ ＧＨＴ ＣＡＬ ＬＩ …
Ｒｅｖ．2 . 0 0
动作说明书
5-6
5-1-6．BASE-FEEDER基板、温度传感器基板
○ BASE-FEEDER 基板
１ 功能
此基板装备有供料器推进、信号灯的控制器、MTC I/F 等功能。
1-1 供料器的推进功能
可以驱动 80 销的供料器。另外，进行多层供料器的 READ・BUSY 信号和禁止信号的 READ／WRITE。
1-2 信号灯的控制功能
可以驱动过去的信号灯的红色、黄色、绿色的亮灯和面灯等蜂鸣器的驱动。
另外还具有小型信号灯用的驱动电路。
1-3 温度传感器和真空传送功能
为了监视因温度变化监视基座的膨胀和收缩，传感器基板上安装在底座上。此温度传感器基板可以把温
度变换成电压值。BASE-FEEDER 基板读取此值，
变换成数字值。
同样，读取 ATC 上的吸嘴的真空等
级的真空传感器值，变换成数字值，通知 MAIN CPU。
温度传感器： 测定范围 ： 0 ～ 50℃ 分辨率：约 0.2℃
真空传感器： 测定范围 ： ±1013×10＾2Pa 分辨率：约 4.9×10＾2Pa
２ LED 的显示功能
LED1（绿）：CPU 正常动作时亮灯。
LED2（红）：本地接口上发生接口异常的时，CPU 变为 HALT 状态，此时亮灯。
LED3（红）系统为 FAIL 状态时亮灯。
（基板的故障时 LED2、3 亮灯。）
３ SW 的功能
RESET SW ： RESET 此基板。
ABORT SW ： 向 CPU 发行 NMI。
Ｒｅｖ．2 . 0 0
动作说明书
5-7
３． 构成图
ＭＰＵ ６８０００
ＲＯＭ
２５６Ｋ
ＦＬＡＳＨ Ｍｅｍｏｒｙ
２５６Ｋ
Ｌｏｃａｌ Ｂｕｓ
ＭＴＣ Ｉ／Ｆ
ＦＥＥＤＥＲ Ｉ／Ｆ
ＭＴＣ ＴＲ－＊
ＦＥＥＤＥＲ
Ｆｒｏｎｔ ４０ Ｒｅａｒ ４０
ＲＥＡＤＹ／ＢＵＳＹ
Ｄｕａｌ Ｐｏｒｔ
ＲＡＭ ２５６Ｋ
Ｓｌａｖｅ
Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ
ＩＲＱ
Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ
ＶＭＥ－Ｂｕｓ
ＳＩＧＮＡＬ ＬＩＧＨＴ
ＣＡＬ ＬＩＧＨＴ ＴＥＭＰ．
ＢＡＳＥ Ｉ／Ｆ
ＴＩＭＥＲ
Ｌｏｃａｌ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ
Ｒｅｖ．2 . 0 0
动作说明书
5-8
○温度传感器基板
(FX-1)
此基板通过基板上安装的温度传感器，检测周围的温度，输出与温度成比例的电压。使用于
YA 轴球螺丝
的温度补偿。安装位置是
Y 台后部背面。
(FX-1R)
测定装置内的温度，用于轴整体的修正。
安装位置为传送部分俯视面。