FX-1R-FX-1动作说明书.pdf - 第87页
Ｒｅｖ．2 . 0 0 动作说明书 5-5 5-1-5 ． SAFETY 基板、 CONVEYOR 基板 ○ SAFETY 基板 ① 检测紧急停止开关、限制传感器、Ｘ_ＳＴＯＰ传感器、区域传感器，遮断伺服电源。 ② 检测护罩开放开关、Ｘ _ ＳＬＯＷ传感器，通知ＸＭＰ基板。 ③ 通过 CONVEYOR 中转基板的 I ／Ｆ 电路、 进行基板传送传感器、 电磁阀、 ＡＴＣ 传感器、 电磁阀的信 号作业。 ④ 检测紧急停止开关，停止 XY …
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5-1-2．位置板
位置板是经由三菱电机公司生产的控制通信网络 SSCNETⅡ控制伺服马达和步进马达的 CPCI 母线的接口
板。最多可以控制 12/24 轴的马达。
① 从ＣＰＵ基板软件接受指令，控制
XYZθ伺服马达和传送部脉冲马达。
② 检测各轴的原点传感器和限制传感器。
③ 检测伺服驱动器的异常和检测磁标尺的异常。
④ 检测紧急停止开关，让 XY 轴、Zθ轴、传送轴停止。
5-1-3．母线桥基板
母线桥基板与 Co
mpactPCI（以下称 CPCI）接口和ＶＭＥ接口连接，是从 CPCI 向 VME 存取的基板。
两个接口连接的基板如下所示。
CPCI 接口的基板 ： CPU 基板、位置接口基板
VME 接口的基板 ： SAFETY 基板、LIGHTCTRL 基板、BASE-FEEDER 基板、I/O CTRL 基板、
IP-X3 基板、MCM(L)基板、MCM(R)基板
母线桥基板的功能
① “SCON”的绿色 LED
母线桥基板被设定到 VME 接口的系统控制器时亮灯。本机打开电源时时常亮灯。
② “REST SW”的按键
复位此基板。
5-1-4．MCM基板
本基板是元件中心用传感器（MNLA）的控制和演算基板。
主控 CPU 的 I/F，经 VME 接口→接口桥基板→CPCI 接口经路来进行。传感器的连接，包括电源的同轴
电缆 1 根进行专用串行通信。然后，位进行元件位置测定的 θ 马达变换器信号由 Zθ 驱动器供给。
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5-1-5．SAFETY基板、CONVEYOR基板
○ SAFETY 基板
① 检测紧急停止开关、限制传感器、Ｘ_ＳＴＯＰ传感器、区域传感器，遮断伺服电源。
② 检测护罩开放开关、Ｘ_ＳＬＯＷ传感器，通知ＸＭＰ基板。
③ 通过 CONVEYOR 中转基板的 I／Ｆ电路、
进行基板传送传感器、
电磁阀、ＡＴＣ传感器、电磁阀的信
号作业。
④ 检测紧急停止开关，停止 XY 轴和 Zθ 轴。
⑤ 安装 SMEMA I/F 电路。
⑥ 安装保存 M/S 参数的 FlashROM。
SAFETY基板には５個のLEDが実装されています
。以下に各LEDの意味を記します。
ALM LED 1 YA軸リミット、YB軸リミット、非常停止
が検出された場合に点灯
COSW LED 2 カバーオープンが検出
された場合に点灯
AREA
－F
LED 3 使用しない
AREA
－R
LED 4 使用しない
F－FLOT LED 5 フィーダ浮きセンサが検出
された場合に点灯
不使用
不使用
供料器浮起传感器检测后亮灯
YA轴限制、YB轴限制、紧急停止被检测后亮灯
防护盖开放被检测后亮灯
SAFETY基板上安装着5个LED。以下是各LED表示的意义。
○ CONVEYOR 基板
位于 SAFETY 基板和传送系统之间，中转下列信号。
① IN、OUT、WAIT、C．OUT、C．OUT2、STOP、TPIN 传感器（READ）
② IN 马达、OUT 马达的驱动（WRITE）
③ 止动器、ATC、YA 基板检测 SV 的驱动。（WRITE）
④ ATC 开闭（WRITE）及其确认传感器（READ）
位于 BASE-FEEDER 基板和传送系统之间，中转下列信号。
① 供料器跳起传感器、供料器检测传感器（READ）
② 供料传感器的检测（READ）
③ CAL 部 LED 的亮灯，真空的 ON（WRITE）
④ 真空传送传感器（WRITE）
⑤ 总压力检测传感器（READ）
⑥ 小信号灯的驱动（WRITE）
⑦ 温度传感器基板输出值（READ）
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5-1-6．BASE-FEEDER基板、温度传感器基板
○ BASE-FEEDER 基板
１ 功能
此基板装备有供料器推进、信号灯的控制器、MTC I/F 等功能。
1-1 供料器的推进功能
可以驱动 80 销的供料器。另外，进行多层供料器的 READ・BUSY 信号和禁止信号的 READ／WRITE。
1-2 信号灯的控制功能
可以驱动过去的信号灯的红色、黄色、绿色的亮灯和面灯等蜂鸣器的驱动。
另外还具有小型信号灯用的驱动电路。
1-3 温度传感器和真空传送功能
为了监视因温度变化监视基座的膨胀和收缩，传感器基板上安装在底座上。此温度传感器基板可以把温
度变换成电压值。BASE-FEEDER 基板读取此值，
变换成数字值。
同样，读取 ATC 上的吸嘴的真空等
级的真空传感器值，变换成数字值，通知 MAIN CPU。
温度传感器： 测定范围 ： 0 ～ 50℃ 分辨率：约 0.2℃
真空传感器： 测定范围 ： ±1013×10＾2Pa 分辨率：约 4.9×10＾2Pa
２ LED 的显示功能
LED1（绿）：CPU 正常动作时亮灯。
LED2（红）：本地接口上发生接口异常的时，CPU 变为 HALT 状态，此时亮灯。
LED3（红）系统为 FAIL 状态时亮灯。
（基板的故障时 LED2、3 亮灯。）
３ SW 的功能
RESET SW ： RESET 此基板。
ABORT SW ： 向 CPU 发行 NMI。