QP341,351機械手冊-中.pdf - 第159页

第 5 部 第 1 章 安置 Edition 1. 0 5-1- 1 QP-341E/35 1E-MM 机械手册 1. 1. 1. 1. 安置 安置 安置 安置 要点 要点 要点 要点 将高度调整垫片置于规 定的位置,以确保 QP-34 1 E/35 1 E 处于水平状态。 并且根据基板搬运高度 ,选择使用适当高度的垫片 。 900 BB42330 H=16 7 8 912 BB43880 H=30 7 8 930 DBAB0410 H…

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安装
安装安装
安装
5 1 安置
Edition 1.0 5-1-1 QP-341E/351E-MM 机械手册
1.
1.1.
1.
安置
安置安置
安置
要点
要点要点
要点
将高度调整垫片置于规定的位置,以确保 QP-341E/351E 处于水平状态。
并且根据基板搬运高度,选择使用适当高度的垫片
900     BB42330 H=16 7 8
912     BB43880 H=30 7 8
930     DBAB0410 H=45 7 8
950     DBAB0080 H=60 7 8
965     DBAB0330 H=80 7 8
QP-341 QP-351
Table01CM
方法
方法方法
方法
1. 参照下图,置放高度调整垫片。
QP3MS010CM
1950
916 432 5070 582
65
50 50735
417.5
70565 65
417.5
705
835
65
(mm)
1992
812 598 9070 582
80
80 80756
81650 50
756
916
80
81650 50
Side 1
QP-341E QP-351E
1 安置 5
QP-341E/351E-MM 机械手册 5-1-2 Edition 1.0
2. 将水平仪放在机器底层上。(横向和纵向)
QP3MS009CM
Side 1
3. 旋转下图中的高度调整螺栓 ABCD,调整高度和水平度。
水平度的许可范围:±0.1mm
QP3MS011CM
Side 1
QP-351E
AB
QP-341E QP-351E
C
D
4. 调整其余螺栓,使之均能承重。
5. 确认基板搬运高度、机器的水平度是否正确,拧紧所有的防松螺母。