QP341,351機械手冊-中.pdf - 第59页
第 2 章 真空支撑销位置的调整 第 2 部 QP-341E/35 1E-MM 机械手册 2- 2-2 Edition 1. 0 搬运轨道宽度自动调整时的 注意事项 搬运轨道宽度自动调整时的 注意事项 搬运轨道宽度自动调整时的 注意事项 搬运轨道宽度自动调整时的 注意事项 1 . 1 . 1 . 1 . 宽度自动变更前，首先要检查 真空支撑销的安装位置。 如果真空支撑销没有超 出定位托架则没有问题。 一旦超出 则有干扰从属轨道的可能， …
第 2 部第2 章 真空支撑销位置的调整
Edition 1.0 2-2-1 QP-341E/351E-MM 机械手册
2.
2.2.
2.
真空支撑销位置的调整
真空支撑销位置的调整真空支撑销位置的调整
真空支撑销位置的调整
要点
要点要点
要点
要充分考虑基板的形状或尺寸、内侧先期安装零件的配置等，然后再决定真空支撑销的位置
和数量。
对于向上翘曲的基板，要使用带真空垫圈的真空支撑销以确保基板的平整度。
QP3MC003CM
方法
方法方法
方法
预先从 Side2 侧将 PFU-3E，MFU-6E 或 MTU-8E/9E 从机器主体上卸下。
1.
1.1.
1.
利用 I/O 操作降下基板升降台。
2.
2.2.
2.
将搬运轨道宽度调至最宽。
3.
3.3.
3.
将定位托架拉向一侧，向上取出。
QP3MC004CM
1
2
注意）
注意）注意）
注意）
定位托架卸下时的注意事项
定位托架卸下时的注意事项定位托架卸下时的注意事项
定位托架卸下时的注意事项
·
··
·托架不能干扰传感器。否则会导致传感器破损。
托架不能干扰传感器。否则会导致传感器破损。托架不能干扰传感器。否则会导致传感器破损。
托架不能干扰传感器。否则会导致传感器破损。
·由于需从
·由于需从·由于需从
·由于需从 2
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2 侧进行作业，所以要避免干扰相机
侧进行作业，所以要避免干扰相机侧进行作业，所以要避免干扰相机
侧进行作业，所以要避免干扰相机和
和和
和吸嘴更换装置内的吸嘴。
吸嘴更换装置内的吸嘴。吸嘴更换装置内的吸嘴。
吸嘴更换装置内的吸嘴。
4.
4.4.
4.
拧松安装螺栓，变更真空支撑销的位置。
5.
5.5.
5.
使定位托架与基板升降台装配成套。此时定位托架接触挡块，要用力往里按压。
6.
6.6.
6.
在使基板升降台上升之前，要确保真空支撑销不干扰从动侧的传送轨道。如有干扰，应
变更真空支撑销的位置。
第 2 章 真空支撑销位置的调整 第 2 部
QP-341E/351E-MM 机械手册 2-2-2 Edition 1.0
搬运轨道宽度自动调整时的注意事项
搬运轨道宽度自动调整时的注意事项搬运轨道宽度自动调整时的注意事项
搬运轨道宽度自动调整时的注意事项
1.
1.1.
1. 宽度自动变更前，首先要检查真空支撑销的安装位置。
如果真空支撑销没有超出定位托架则没有问题。一旦超出则有干扰从属轨道的可能，此
时要在自动宽度变更前卸下或在定位托架内重新设置真空支撑销。
QP3MC052CM
2.
2.2.
2.
宽度自动变更动作结束后，要确认从属轨道下侧没有真空支撑销。
宽度自动变更动作结束时，若从属轨道下侧有真空支撑销，则会在基板夹紧动作时，
造成真空支撑销提升从属轨道而导致夹紧错误。因此，要取出从属轨道下的真空支撑销。
QP3MC053CM
第 2 部第2 章 真空支撑销位置的调整
Edition 1.0 2-2-3 QP-341E/351E-MM 机械手册
3.
3.3.
3. 宽度自动变更时，要确保基板减速·到位确认传感器位于基准位置。
如果基板减速·到位确认传感器不在基准位置时，则有可能干扰从属轨道。因此，在
宽度自动变更动作前一定要将其回复到基准位置。
Side2 Side1
QP3MC054CM
4.
4.4.
4. 使用用户特殊的定位托架时
使用用户特殊的定位托架时，与使用 FUJI 标准真空支撑销一样，要注意上述 1 和 2
项内容。