QP341,351機械手冊-中.pdf - 第61页
第 2 章 真空支撑销位置的调整 第 2 部 QP-341E/35 1E-MM 机械手册 2- 2-4 Edition 1. 0 笔记 笔记 笔记 笔记 : : : :
第 2 部第2 章 真空支撑销位置的调整
Edition 1.0 2-2-3 QP-341E/351E-MM 机械手册
3.
3.3.
3. 宽度自动变更时，要确保基板减速·到位确认传感器位于基准位置。
如果基板减速·到位确认传感器不在基准位置时，则有可能干扰从属轨道。因此，在
宽度自动变更动作前一定要将其回复到基准位置。
Side2 Side1
QP3MC054CM
4.
4.4.
4. 使用用户特殊的定位托架时
使用用户特殊的定位托架时，与使用 FUJI 标准真空支撑销一样，要注意上述 1 和 2
项内容。
第 2 章 真空支撑销位置的调整 第 2 部
QP-341E/351E-MM 机械手册 2-2-4 Edition 1.0
笔记
笔记笔记
笔记:
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第 2 部 第 3 章 PFU-3E 的安装
Edition 1.0 2-3-1 QP-341E/351E-MM 机械手册
3.
3.3.
3.
PFU-3E
PFU-3EPFU-3E
PFU-3E 的安装
的安装的安装
的安装
要点
要点要点
要点
机器上装配 PFU-3E，可实现电源和供气的自动连接。
方法
方法方法
方法
1. 通过单动操作或微动，将置件工作头移动至待机位置。
注
注注
注
意
意意
意
不履行该操作，将有可能会导致置件工作头破损。
不履行该操作，将有可能会导致置件工作头破损。不履行该操作，将有可能会导致置件工作头破损。
不履行该操作，将有可能会导致置件工作头破损。
2. 通过触摸屏从主画面开始，进行[供料平台]→[供料平台 1]或[供料平台 2]→[电源关闭]
的操作。
注
注注
注
意
意意
意
不履行该操作，将有可能会导致电源供给基板破损。
不履行该操作，将有可能会导致电源供给基板破损。不履行该操作，将有可能会导致电源供给基板破损。
不履行该操作，将有可能会导致电源供给基板破损。
3. 按下[紧急停止]按钮，关闭 200V 电源。
4. 打开起重器门。
5. 取出起重杠杆并连接。
QP3MC013CM
6. 右旋起重器阀并关闭。
7. 向上抬 PFU-3E。
将杠杆插入起重器的插口并上下压送。向上抬 PFU-3E 直至指示器前端到达侧面的绿色
标志范围内。
QP3MC014CM