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11 Stationserweiterungen/Hardware Betriebsanleitung SIPLACE F5/F5 HM 11.5 Keramiksubst rat-Zentrierung Softwareversion SR.407.xx Ausgabe 01/2001 D E 502 11 Abb. 1 1.5 - 1 Gesam t ü bersicht (Draufsicht)

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Betriebsanleitung SIPLACE F5/F5 HM 11 Stationserweiterungen/Hardware
Softwareversion SR.407.xx Ausgabe 01/2001 DE 11.5 Keramiksubstrat-Zentrierung
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11.5 Keramiksubstrat-Zentrierung
11.5.1 Allgemeines
Die Keramiksubstrat-Zentrierung kann mechanisch und optisch durchgeführt werden.
Bei der optischen Zentrierung können die Passmarken mit Normalbeleuchtung oder Schräglicht-
beleuchtung erkannt werden.
11.5.2 Mögliche Zentrierarten
Folgende Zentrierungen für Keramiksubstrate können in den Maschinendaten (real.ma) Trans-
portart eingetragen werden.
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11.5.3 Mechanische Zentrierung
11.5.3.1 Allgemeines
Die mechanische Keramiksubstrat-Zentrierung wird verwendet, um Keramiksubstrate positions-
stabil und materialschonend in x- und y-Richtung zu arretieren. Auch können Keramiksubstrate
bis zum Substratrand bestückt werden.
11.5.3.2 Wechsel von Keramiksubstrat auf Leiterplatte
Å Stecken Sie die Pneumatikleitung und die elektrische Anschlussleitung ab (siehe Punkt 1 in
Abb. 11.5 - 1
).
Å Entfernen Sie die Keramiksubstrat-Zentrierung (siehe Punkt 2 in Abb. 11.5 - 1).
Å Demontieren Sie die Basis der Keramiksubstrat-Zentrierung (siehe Punkt 3 in Abb. 11.5 - 2).
Å Entfernen Sie die drei Klemmteile (siehe Punkt 4 in Abb. 11.5 - 1) und montieren Sie die Stan-
dardführung an diese Stelle.
Å Montieren Sie die Niederhalterwinkel (siehe Punkt 5a und 5b in Abb. 11.5 - 1).
Å Stellen Sie die Größe der Leiterplatte ein (siehe Punkt 6 in Abb. 11.5 - 1).
Å Editieren Sie mit Hilfe des SITEST-Programms die jeweilige Transportart (siehe Tabelle in
11.5.2
) in den Maschinendaten.
Å Zur Bedienung in den "Einzelfunktionen" siehe auch Abschnitt 5.3 dieser Betriebsanleitung.
Transportart Zentrierung
4 mechanische Substrat-Zentrierung mit Normalbeleuchtung
5 nur Schräglichtbeleuchtung mit Y-Klemmung
6 mechanische Substrat-Zentrierung mit Schräglichtbeleuchtung
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11.5 Keramiksubstrat-Zentrierung Softwareversion SR.407.xx Ausgabe 01/2001 DE
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Abb. 11.5 - 1 Gesamtübersicht (Draufsicht)
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Abb. 11.5 - 2 Keramiksubstrat-Zentrierung (Seitenansicht)
(1) Kupplungsdose
(2) Sensor Keramiksubstrat-Zentrierung
(3) Basis
11.5.3.3 Wartung
Die Kugelumlaufführung in der X-Zentrierung muss gereinigt und gefettet werden.
Prüfen Sie bei Bedarf den pneumatischen Antrieb auf Leichtgängigkeit.
Die Wartung des Transportes ist durchzuführen, wie dies in der Instandhaltungsanleitung be-
schrieben ist.