FUJI NXTII 机械手册_.pdf - 第178页
6. 预防保养 QD145-04 156 NXT Ⅱ机械手册 CZ 轴传送带张力 - - - - - - ▲ *10 搬运马达传送带张力 - - - - - - ▲ *6 变更宽度马达传送带张力 - - - - - - ▲ *11 XY 机械手 〈M3-2〉 线性马达冷却风扇过滤器 - - ● - ▲ - - X轴 齿 轮 - - - ★ - - - 2 X 轴滚珠丝杆 - - - ★ - - - 5 X轴L M导 轨 - - - ★ …
QD145-04 6. 预防保养
NXT Ⅱ机械手册 155
H12(S) 工作
头
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - ★ - 10
Z 轴导向往复臂 - - - - - ★ - 10
机械阀驱动用凸轮从动件 - - - - - ★ - 10
步进马达部分的凸轮 - - - - - ★ - 10
Q轴齿轮(上部马达侧) - - - - - ★ - 5
Q 轴齿轮 ( 上部注油筒侧 ) - ★ - - - - - 5
R轴齿轮 - - - - - ★ - 5
机械阀的 O 型圈 - ▲ - - - ▲
★
-60
10
注油筒和注油筒内 O 型圈 - ●
★
-- -- - 15
10
真空过滤器 - ● - - ▲ - - 20
机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - ★ - - - 5
H12HS 工作
头
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - ★ - 10
Z 轴导向往复臂 - - - - - ★ - 10
机械阀驱动用凸轮从动件 - - - - - ★ - 10
步进马达部分的凸轮 - - - - - ★ - 10
Q轴齿轮(上部马达侧) - - - - - ★ - 5
Q 轴齿轮 ( 上部注油筒侧 ) - ★ - - - - - 5
R轴齿轮 - - - - - ★ - 5
机械阀的 O 型圈 - ▲ - - - ▲
★
-60
10
注油筒和注油筒内 O 型圈 - ●
★
-- -- - 15
10
真空过滤器 - ● - - ▲ - - 20
机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - ★ - - - 5
单搬运轨道
双搬运轨道
三搬运轨道
CZ 轴滚珠丝杆 - - - - - ★ - 15
宽度变更滚珠丝杆 - - - - - ★ - 10
搬运轨道传送带张力 - - - - - ▲ ▲ *6 10
搬运轨道传送带 - - - - - - ● *6
软支撑销 - - - - - - ● *9
维修保养项目
（●：清扫、★：加油、▲：检查更换）
每周
(160h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间
(分)
6. 预防保养 QD145-04
156 NXT Ⅱ机械手册
CZ 轴传送带张力 - - - - - - ▲
*10
搬运马达传送带张力 - - - - - - ▲ *6
变更宽度马达传送带张力 - - - - - - ▲
*11
XY 机械手
〈M3-2〉
线性马达冷却风扇过滤器 - - ● - ▲ - -
X轴齿轮 - - - ★ - - - 2
X 轴滚珠丝杆 - - - ★ - - - 5
X轴LM导轨 - - - ★ - - - 5
Y轴LM导轨 - - - ★ - - - 5
XS 轴齿轮 - - - ★ - - - 2
XS 轴滚珠丝杆 - - - ★ - - - 5
XS 轴 LM 导轨 - - - ★ - - - 5
X/Y 轴平型电缆 - - - ★ - - - 10
XY 机械手
〈M6-2〉
线性马达冷却风扇过滤器 - - ● - ▲ - -
X轴齿轮 - - - ★ - - - 2
X 轴滚珠丝杆 - - - ★ - - - 5
X轴LM导轨 - - - ★ - - - 5
Y轴LM导轨 - - - ★ - - - 5
X/Y 轴平型电缆 - - - ★ - - - 10
定位相机 光源内板透镜面 - - - - ● - - 3
元件相机 玻璃罩面 ● - - - - - - 2
光源内玻璃面 ● - - - - - - 2
废料带处理
单元
切刀 - - - - - - ● *7 20
输送槽 - - - - - - ● *8 15
LM 导轨 - - - - - ★ - 20
主体 模组内部 ● - - - - - - 2
基座·模组支持面 - - ★ - - - - 5
空气调节器 - - - - ● - - 15
湿气分离器 - - - - - ● - 15
真空泵过滤器 - - - - - ● - 15
维修保养项目
（●：清扫、★：加油、▲：检查更换）
每周
(160h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间
(分)
QD145-04 6. 预防保养
NXT Ⅱ机械手册 157
*3: 每吸取 150，000 次或者吸取异常时
*4: 托架夹紧的异常时
*5: 吸嘴真空压异常时或者污垢严重时
排出元件搬
运轨道
搬运轨道皮带 - ● - - - - - 5
料盘单元 -L 搬运轨道皮带 - ● - - - - - 5
往复臂皮带 - ● - - - - - 5
控制箱空气过滤器 - - - - - ● - 10
TZ 轴滚珠丝杆 - - - - - ★ - 10
升降部齿轮 - - - - - ★ - 10
TZ 轴皮带张力 - - - - - ▲ - 10
TY 轴皮带张力 （往复臂） - - - - - ▲ - 10
TY 轴皮带张力 （驱动部） - - - - - ▲ - 10
料盘单元 -
LT
料站、接插头 ● - - - - - - 1
搬运轨道皮带 - ● - - - - - 5
往复臂皮带 - ● - - - ● - 5
TZ1/TZ2 轴滚珠丝杆 - - - - - ★ - 10
升降部齿轮 - - - - - ★ - 10
TZ1/TZ2 轴皮带张力 - - - - - ▲ - 10
TY 轴皮带张力 （往复臂） - - - - - ▲ - 10
TY 轴皮带张力 （驱动部） - - - - - ▲ - 10
料盘单元 -M 往复臂皮带 - - - ● - - - 5
料盘箱皮带 - - - ● - - - 10
TY 轴离合器 - - - - - ★ - 10
料盘定位销 - - - - - ★ - -
料盘定位销驱动轴 - - - - - ★ - -
TZ 轴皮带张力 （料盘箱升降
部）
-----▲- 10
TZ 轴皮带张力 （料盘箱升降
部）
-----▲- 10
TY 轴皮带张力 （离合器部） - - - - - ▲ - 10
TY 轴皮带张力 （驱动部） - - - - - ▲ - 10
维修保养项目
（●：清扫、★：加油、▲：检查更换）
每周
(160h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间
(分)