FUJI NXTII 机械手册_.pdf - 第223页
QD145-04 6. 预防保养 NXT Ⅱ机械手册 201 6.9 每 12000 小时的操作 6.9.1 湿气分离器的清扫 1. 拉 出模组。 （参考 " 5.1 模组的拉出 / 插入 "） 2. 请将主电源开关 OFF。 3. 取下基座上的盖板。 4. 关闭气源接入处的外部气源，此时配管 内气压降低。 5. 拧松安装螺栓，拆下滤芯 Assy。 6. 使用压缩空气吹气清扫滤芯，污垢严重 时，请更换新的部品。
6. 预防保养 QD145-04
200 NXT Ⅱ机械手册
< 对内侧的轴加油 >
< 对面前的轴加油 >
4. 安装吸嘴置放台。（参考 " 5.7 吸嘴置放台的拆除 / 安装 "。）
5. 开始自动运转后，吸嘴更换器下降到原来位置。
6.8.4 贴装工作头真空过滤器的更换 〈H04、H08、H12S、H12HS〉
请将贴装工作头真空过滤器与新品进行更换。（关于更换方法，请 " 6.5.4 贴装工作头真空
过滤器的清扫 "）
6.8.5 线性马达冷却风扇过滤器的更换
请检查线性马达冷却风扇过滤器的污垢，污垢严重时与新品进行更换。（关于更换方法，请
" 6.6.2 线性马达冷却风扇过滤器的清扫 "）
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6. 预防保养 QD145-04
202 NXT Ⅱ机械手册
6.9.2 真空泵过滤器的清扫
1. 拉出模组。（参考 " 5.1 模组的拉出 / 插入 "）
2. 请将主电源开关 OFF。
3. 取下基座上的盖板。
4. 将真空布管内设定为大气压。
5. 2M-2 基座的时候，按下面的步骤拆除滤芯。
a. 松开滤器套下部的螺栓，将滤器套从主体拆除。
b. 从主体拆除滤芯。
6. 4M-2 基座的时候，按下面的步骤拆除滤芯。
a. 按下过滤器套的锁定旋钮，旋转滤器套后从主体拆除。
b. 旋转滤芯盖板后拆除，取下滤芯。
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